微電子與環(huán)境保護(hù)論文

1、微電子與清潔生產(chǎn)微電子與清潔生產(chǎn)摘要摘要:文中以芯片生產(chǎn)為例分析微電子行業(yè)的生產(chǎn)過程發(fā)現(xiàn)該行業(yè)資源、能源消耗量大使用的原料和排放廢棄物中有毒有害物質(zhì)含量較高對(duì)社會(huì)環(huán)境潛在的壓力很大；提出了在該行業(yè)推行節(jié)約化、清潔化生產(chǎn)的解決措施:企業(yè)生產(chǎn)管理措施法規(guī)手段經(jīng)濟(jì)手段和信息措施；呼吁在我國大力發(fā)展微電子產(chǎn)業(yè)時(shí)要吸取發(fā)達(dá)國家的經(jīng)驗(yàn)教訓(xùn)實(shí)施清潔生產(chǎn)避免對(duì)環(huán)境造成嚴(yán)重的破壞。關(guān)鍵詞關(guān)鍵詞:微電子；環(huán)境保護(hù)；能耗量；清潔生產(chǎn)；1、微電子行業(yè)所用原料及

2、生成污染物種類分析、微電子行業(yè)所用原料及生成污染物種類分析1.1.1、微電子行業(yè)所用原料、微電子行業(yè)所用原料調(diào)查發(fā)現(xiàn)微電子企業(yè)使用的主要原料中含有大量的氟化物、溴化氫及氰化物等劇毒物質(zhì)還有重金屬各種酸洗試劑、有機(jī)試劑、以及特種試劑有毒和易燃易爆的特種氣體。硅谷調(diào)查結(jié)果顯示該行業(yè)工人癌癥發(fā)病率、嬰兒先天缺陷比例遠(yuǎn)高于平均水平。另外若管理不善造成這些有毒有害物質(zhì)的泄漏則會(huì)帶來嚴(yán)重的環(huán)境問題和安全問題如震驚世界的博帕爾事件。表1微電子生產(chǎn)原料

3、一覽表原料種類含有毒有害成分液態(tài)1.清洗試劑:酸洗試劑(H2SO4、HCl、HF、HNO3、H3PO4)、堿洗試劑(H2O2、氨水)。2.特種試劑:異丙醇、丙酮、乙醇、緩沖液、去光阻液、負(fù)光阻液、氧化層研磨液、顯影液、光刻膠、三氯氧磷硝酸、氟化物。氣態(tài)1.特種氣體:BCl3、Cl2、HBr、HCl、SiH2Cl2、一氧化二氮、磷烷、硼烷、砷烷、硅烷氯氣、H2、CO、CF4、SiCCl2、CH3F、CH2Cl2、SiC、O2、CHF3、S

4、iF4、甲烷Ar、氨氣。2.普通氣體:潔凈壓縮空氣、高純氧氣、高純氮?dú)?、高純氫氣、高純氬氣。固態(tài)晶體硅各種金屬如銅、銀、鉻、鉛、汞等。1.1.2、微電子行業(yè)產(chǎn)生的污染物、微電子行業(yè)產(chǎn)生的污染物表2列出了對(duì)國內(nèi)幾家微電子行業(yè)產(chǎn)生污染物種類?？梢钥闯鲈撔袠I(yè)排出的廢水的腐蝕性和毒性都很強(qiáng)不經(jīng)嚴(yán)格處理會(huì)嚴(yán)重污染自然水體和排放渠道。廢氣中含有大量氟化物、酸堿廢氣、VOC、及一些劇毒氣體物質(zhì)調(diào)查發(fā)現(xiàn)長期呼吸這種廢氣使癌癥發(fā)病率、流產(chǎn)和嬰兒先天缺陷比

5、例增大很多公司也因此被起訴。固體廢物的污泥中含多種重金屬高濃度廢液中含大量有機(jī)污染物。填埋這些廢物會(huì)使有毒物滲漏到地下水中而焚燒則會(huì)產(chǎn)生包括二噁英等的氣體有毒物。新的調(diào)查結(jié)果顯示電子回收工人的血液中危險(xiǎn)化學(xué)物質(zhì)含量很高。因此人類在享受高科技帶來的文明的同時(shí)也越來越深刻地認(rèn)識(shí)到它危害人類健康、污染人類賴以生存環(huán)境的一面。時(shí)生產(chǎn)商必須承擔(dān)保證清潔生產(chǎn)減少資源消耗排除使用有毒有害原料和生產(chǎn)有毒有害產(chǎn)品的責(zé)任對(duì)設(shè)計(jì)無法避免的環(huán)境破壞問題生產(chǎn)者要

6、承擔(dān)法律的、物質(zhì)的或經(jīng)濟(jì)責(zé)任?，F(xiàn)對(duì)該行業(yè)的清潔生產(chǎn)實(shí)施提如下建議:3.3.1、企業(yè)實(shí)施清潔生產(chǎn)的措施、企業(yè)實(shí)施清潔生產(chǎn)的措施實(shí)施廢物總量控制；規(guī)范設(shè)計(jì)利用無毒原料和采用無毒工藝；開發(fā)閉合物質(zhì)循環(huán)系統(tǒng)；開發(fā)更耐用的產(chǎn)品原料種類標(biāo)準(zhǔn)化；開發(fā)可回收、循環(huán)再利用的產(chǎn)品；增加回收、循環(huán)利用和修復(fù)工作加強(qiáng)對(duì)原料的管理防止發(fā)生泄漏、溢出、事故污染和不希望的揮發(fā)。3.3.2、實(shí)施清潔生產(chǎn)的保障措施、實(shí)施清潔生產(chǎn)的保障措施企業(yè)若在設(shè)計(jì)生產(chǎn)階段認(rèn)真考慮上述

7、問題就可以改善資源利用和污染物排放的性質(zhì)和數(shù)量。但要調(diào)動(dòng)起企業(yè)的積極性必須采用必要的法律手段經(jīng)濟(jì)手段和信息導(dǎo)向措施推進(jìn)和保證清潔生產(chǎn)在該行業(yè)順利實(shí)施。參考國外經(jīng)驗(yàn)以下措施值得借鑒:（1）法規(guī)限制:強(qiáng)制回收規(guī)定；回收物含量最低標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定；原料二次利用率規(guī)定；制定能源利用率標(biāo)準(zhǔn)禁止和限制某些處置途徑；禁止和限制使用某些原料。（2）經(jīng)濟(jì)手段:征收原料稅；減去對(duì)某些原料的津貼；市場只準(zhǔn)入環(huán)境效應(yīng)好的產(chǎn)品。（3）信息手段:推出環(huán)境清潔標(biāo)志；嚴(yán)格把關(guān)

8、環(huán)境標(biāo)志的批準(zhǔn)；公開產(chǎn)品整個(gè)使用周期的環(huán)境效應(yīng)信息產(chǎn)品有害警告。通過以上措施加強(qiáng)對(duì)該行業(yè)生產(chǎn)過程的研究和檢測系統(tǒng)建立企業(yè)環(huán)境指標(biāo)以及加強(qiáng)利益相關(guān)者對(duì)話通過政策法規(guī)將環(huán)境效應(yīng)附加到生產(chǎn)中根據(jù)排污收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)將廢物管理成本從政府和公眾轉(zhuǎn)移到生產(chǎn)者身上再加上市場經(jīng)濟(jì)手段和消費(fèi)者信息導(dǎo)向就會(huì)促使生產(chǎn)者改進(jìn)工藝盡可能地將有毒物排除于生產(chǎn)過程之外使廢物最小化減少有毒物質(zhì)的傳播最佳可持續(xù)的重復(fù)利用資源和能源達(dá)到清潔生產(chǎn)的目的。3.33.3、微電子環(huán)保最新

9、信息、微電子環(huán)保最新信息第二十二屆中國國際電子生產(chǎn)設(shè)備暨微電子工業(yè)展與2012年4月25日在上海世博展覽館拉開序幕。在全球電子信息制造業(yè)日漸增長的前提下，低碳、節(jié)能、環(huán)保、綠色制造將成為此次展會(huì)的“關(guān)鍵詞”進(jìn)入21世紀(jì)以來，中國電子信息產(chǎn)品制造業(yè)加快了發(fā)展的步伐，每年以20%以上的速度高速增長，成為我國經(jīng)濟(jì)的支柱產(chǎn)業(yè)，全球產(chǎn)業(yè)大國地位不斷凸顯。隨著中國電子制造業(yè)的高速發(fā)展，中國的SMT技術(shù)及產(chǎn)業(yè)也同步迅猛發(fā)展，整體規(guī)模居世界前列。中國的

10、電子信息產(chǎn)品制造業(yè)之所以出現(xiàn)大好形勢，主要是中國政府有關(guān)部門高度重視電子信息產(chǎn)品制造業(yè)的發(fā)展，制訂了良好的發(fā)展政策、引進(jìn)政策。世界電子信息產(chǎn)品制造業(yè)發(fā)達(dá)的國家和地區(qū)如美、日、韓、歐洲和我國的臺(tái)灣地區(qū)，把電子制造業(yè)往中國內(nèi)地轉(zhuǎn)移也是迅速發(fā)展的重要因素。今后幾年內(nèi)，中國仍是世界最大的SMT市場。3.3.13.3.1、20112011年是我國電子信息產(chǎn)業(yè)調(diào)整轉(zhuǎn)型的重要一年年是我國電子信息產(chǎn)業(yè)調(diào)整轉(zhuǎn)型的重要一年。2011年，規(guī)模以上電子信息制造