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1、第一章:電子光學(xué)基礎(chǔ)1AriyAriy斑如何形成?斑如何形成?Airy斑:物體上的點(diǎn)通過(guò)透鏡成像時(shí),在像平面上得到的是一個(gè)中心最亮、周?chē)鷰в忻靼迪嚅g同心圓環(huán)的圓斑,即所謂Airy斑2簡(jiǎn)述產(chǎn)生像差的三種原因。簡(jiǎn)述產(chǎn)生像差的三種原因。像差可分為幾何像差和色差,而幾何像差主要指球差和像散球差:由于電磁透鏡的中心區(qū)域和邊緣區(qū)域?qū)﹄娮拥恼凵淠芰Σ煌斐?,離開(kāi)透鏡主軸較遠(yuǎn)的電子比主軸附近的電子被折射程度大。像散:由透鏡磁場(chǎng)的非旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)而引起的,使其
2、在不同方向上的聚集能力不同。極靴內(nèi)孔不圓、上下極靴的軸線錯(cuò)位、制作極靴的材料材質(zhì)不均勻以及極靴孔周?chē)植课廴镜仍颍紩?huì)使電磁透鏡的磁場(chǎng)產(chǎn)生橢圓度。非旋轉(zhuǎn)性對(duì)稱(chēng),會(huì)使它在不同方向上的聚焦能力出現(xiàn)差別,結(jié)果使成像物點(diǎn)p通過(guò)透鏡后不能在像平面上聚焦成一點(diǎn)。色差:由于入射電子波長(zhǎng)(或能量)的非單一性所造成的,能量大的電子在距透鏡光心比較遠(yuǎn)的地方聚焦,能量低的電子在較近的地方聚焦。3何為電磁透鏡的焦長(zhǎng)及景深,有何用途?何為電磁透鏡的焦長(zhǎng)及景深,
3、有何用途?焦長(zhǎng):當(dāng)物平面固定時(shí),像平面前后移動(dòng)成清晰像時(shí)允許移動(dòng)的最大距離。(當(dāng)透鏡焦距和物距一定時(shí),像平面在一定的軸向距離內(nèi)移動(dòng),也會(huì)引起失焦。如果失焦引起的失焦斑尺寸不超過(guò)透鏡因衍射和像差引起的散焦斑大小,那么像平面在一定的軸向距離內(nèi)移動(dòng),對(duì)透鏡像的分辨率沒(méi)有影響。我們把透鏡像平面允許的軸向偏差定義為透鏡的焦長(zhǎng),)用DL表示用途:底片移動(dòng)范圍在焦長(zhǎng)范圍內(nèi)都可呈清晰像。景深:當(dāng)像平面固定時(shí),物平面前后移動(dòng)能呈清晰像時(shí)所允許的最大移動(dòng)范
4、圍。用Df來(lái)表示用途:如果樣品厚度適合,那么在透鏡景深范圍之內(nèi),可以移動(dòng)物平面,從而使樣品各部位的細(xì)節(jié)都能得到清晰的圖像4對(duì)比光學(xué)顯微鏡與電磁顯微鏡分辨率。對(duì)比光學(xué)顯微鏡與電磁顯微鏡分辨率。光學(xué)顯微鏡:△r0=0.61λnsinα;λ=3900—7600,孔徑半角α=70—75,n=1.5,得△r0=2000電磁顯微鏡:分辨本領(lǐng)由衍射效應(yīng)和球面像差來(lái)決定。當(dāng)衍射效應(yīng)Airy斑和球差散焦斑尺寸大小相等時(shí)△r0=Aλ34Cs14A=0.40
5、.55,λ=0.0251,得△r0=2可見(jiàn)電磁透鏡比光學(xué)顯微鏡分辨率要高至少103的數(shù)量級(jí)補(bǔ)充題:光學(xué)顯微鏡與透射電鏡成像區(qū)別補(bǔ)充題:光學(xué)顯微鏡與透射電鏡成像區(qū)別波長(zhǎng)分辨率聚焦優(yōu)點(diǎn)缺點(diǎn)光學(xué)顯微鏡3900~76002000直線聚焦簡(jiǎn)單,直觀只能觀察表面形態(tài),不能做微區(qū)成份分析。?射線衍射儀0.1~100無(wú)法聚焦相組成分析,簡(jiǎn)單,精確無(wú)法觀察形貌電子顯微分析0.0251(200kV)1.8螺旋聚焦組織分析,物相分析(電子衍射),成分分析(能
6、譜,波譜,電子能量損失譜)價(jià)格昂貴不直觀操作復(fù)雜;樣品制備復(fù)雜。第二章:透射電子顯微鏡第二章:透射電子顯微鏡若復(fù)型是同種材料制成,以IB為像背景強(qiáng)度,則強(qiáng)度差△IA=IBIA當(dāng)QΔt遠(yuǎn)小于1時(shí),??tQeIeIIItQttQBABA???????????如果復(fù)型是由兩種材料組成,假定凸起部分(多出的第二種材料)總散射截面為AQ,則IA=I0e(QA△tQBtb)當(dāng)tQA?遠(yuǎn)小于1時(shí),tQeIIIAtQBA???????第四章第四章電子衍
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