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1、電子元器件的防靜電損壞措施電子元器件的防靜電損壞措施1靜電放電靜電放電(ESD)是大家熟知的電磁兼容問題,它可引起電子設(shè)備失靈或使其損壞。當(dāng)半導(dǎo)體器件單獨(dú)放置或裝入電路模塊時(shí),即使沒有加電,也可能造成這些器件的永久性損壞。對(duì)靜電放電敏感的元件被稱為靜電放電敏感元件(ESDS)。如果一個(gè)元件的兩個(gè)針腳或更多針腳之間的電壓超過(guò)元件介質(zhì)的擊穿強(qiáng)度,就會(huì)對(duì)元件造成損壞。這是MOS器件出現(xiàn)故障最主要的原因。氧化層越薄,則元件對(duì)靜電放電的敏感性也越
2、大。故障通常表現(xiàn)為元件本身對(duì)電源有一定阻值的短路現(xiàn)象。對(duì)于雙極性元件,損壞一般發(fā)生在薄氧化層隔開的已進(jìn)行金屬噴鍍的有源半導(dǎo)體區(qū)域,因此會(huì)產(chǎn)生泄漏嚴(yán)重的路徑。另一種故障是由于節(jié)點(diǎn)的溫度超過(guò)半導(dǎo)體硅的熔點(diǎn)(1415℃)時(shí)所引起的。靜電放電脈沖的能量可以產(chǎn)生局部地方發(fā)熱,因此出現(xiàn)這種機(jī)理的故障。即使電壓低于介質(zhì)的擊穿電壓,也會(huì)發(fā)生這種故障。一個(gè)典型的例子是,NPN型三極管發(fā)射極與基極間的擊穿會(huì)使電流增益急劇降低。器件受到靜電放電的影響后,也可
3、能不立即出現(xiàn)功能性的損壞。這些受到潛在損壞的元件通常被稱為“跛腳”,一旦加以使用,將會(huì)對(duì)以后發(fā)生的靜電放電或傳導(dǎo)性瞬態(tài)表現(xiàn)出更大的敏感性。要密切注意元件在不易察覺的放電電壓下發(fā)生的損壞,這一點(diǎn)非常重要。人體有感覺的靜電放電電壓在3000—5000V之間,然而,元件發(fā)生損壞時(shí)的電壓僅幾百伏。靜電放電的危害效應(yīng)是在二十世紀(jì)七十年代開始認(rèn)識(shí)到的,這是由于新技術(shù)的發(fā)展導(dǎo)致元件對(duì)靜電放電的損壞越來(lái)越敏感。靜電放電造成的損失每年可達(dá)到幾百萬(wàn)美元以上
4、。因此,許多大型的元件和設(shè)備制造廠引進(jìn)專業(yè)技術(shù)以減小生產(chǎn)環(huán)境中的靜電積累,從而使產(chǎn)品合格率和可靠性提高了許多。用戶根據(jù)自己的經(jīng)驗(yàn)也懂得了防治靜電放電損害的重要性。2如何對(duì)付靜電放電?控制靜電積累的第一步是要弄清楚靜電荷的產(chǎn)生機(jī)理。靜電電壓是由不同種類的物質(zhì)相互接觸與分離而產(chǎn)生。盡管摩擦能夠使電荷積累得更多,但是摩擦并不是必要的。這種效應(yīng)即是大家熟知的摩擦起電,所產(chǎn)生的電壓取決于相互摩擦的材料本身的特性。磨擦起電序列表列出了各類物質(zhì)的帶電
5、難易程度。對(duì)于相互接觸的兩種物質(zhì),電子會(huì)從序列表較上的物質(zhì)轉(zhuǎn)向較下的物質(zhì),這樣就會(huì)使兩種物質(zhì)分別帶正負(fù)電荷。序列表中的物質(zhì)離得越遠(yuǎn),各自所帶的電荷數(shù)量也越大。常見物質(zhì)的磨擦起電序列如表1所示。表1摩擦起電序列●人體●玻璃●云母●聚酰胺●毛織品●毛皮●絲綢●鋁●紙●棉花+表2靜電放電保護(hù)區(qū)A1接地輪A2接地滑片A3接地面B1腕套測(cè)試器B2腳跟接地測(cè)試器B3腳跟接地底腳板C1腕套和腕套繩C2接地線C3靜電放電接地設(shè)施C4地C5接地搭接點(diǎn)C6
6、大地接地點(diǎn)C7手套C8腳趾和腳跟帶箍D1電離劑E1工作面F1腿和座套已接地的轉(zhuǎn)椅G1人體接地地板H1工作服H2工作帽I1具有接地面的擱板I2接地機(jī)架J1靜電放電保護(hù)區(qū)標(biāo)志典型的靜電放電保護(hù)區(qū)如圖1所示,此圖摘自EN1000151,其中許多是新近的。該圖給出了各種可能的措施,但并沒有必要全部使用這些措施,這主要由特定的環(huán)境決定。所采用的其本原理就是等電位搭接,即將所有表面連接在一起,防止不同物體之間產(chǎn)生電位差。工作面[E1]是靜電損耗性的
7、,通過(guò)靜電放電的接地設(shè)施[C3]連接到地[C4]。工作站的操作人員通過(guò)導(dǎo)電腕[C1]上的導(dǎo)線和地電位點(diǎn)相連,然而,對(duì)于活動(dòng)頻繁的人員,最好是通過(guò)腳跟和腳趾帶箍[C8]與靜電損耗地板[G1]相通(即接地)。腕套的接地導(dǎo)線在接地點(diǎn)[C5]處進(jìn)行端接。操作人員所穿的破舊工作服[H1、H2]也應(yīng)是靜電損耗性的,并在靠近靜電放電敏感元件附近遮住工作人員自己的衣服,所有破舊的手套也應(yīng)是導(dǎo)電材料的。轉(zhuǎn)椅[F1]不應(yīng)視為操作人員接地的基本方法,但值得注
8、意的是,轉(zhuǎn)椅上必須鋪一層抗靜電的材料,使座套、靠背和扶手均有與地相通的路徑。元件應(yīng)存放在帶有接地面的擱板[I1]上,或者是接地的機(jī)架[I2]上。這些東西與工作臺(tái)都應(yīng)通過(guò)接地導(dǎo)線[C2]與靜電放電的地面相接。當(dāng)用手推車裝運(yùn)元件或子配件時(shí),其表面導(dǎo)電性能應(yīng)與工作面和導(dǎo)電機(jī)架的導(dǎo)電性能相似。如果接地輪[A1]導(dǎo)電性良好,且與手推車車架電氣連接,那么不再需要使用接地滑片了。如果EPA的地板沒有接地,那么當(dāng)手推車停下來(lái)裝卸東西時(shí),則應(yīng)將其接地點(diǎn)[
9、C6]與大地接地點(diǎn)[C5]相連。在操作人員的正常工作期間,對(duì)所采用的這些措施的效果應(yīng)該用靜電伏特計(jì)測(cè)量其靜電勢(shì)和靜電場(chǎng)來(lái)評(píng)估。在保護(hù)區(qū)內(nèi)和進(jìn)出口處,應(yīng)使用標(biāo)志[J1]來(lái)提醒他們注意。應(yīng)對(duì)腕套及其接地導(dǎo)線用導(dǎo)通測(cè)試儀定期進(jìn)行檢測(cè)。導(dǎo)電輪和腳趾帶箍也應(yīng)作類似的檢測(cè)[B2,B3]。5安全性EPA內(nèi)一般有加電的工具和設(shè)備。在這種環(huán)境中,將單個(gè)物件或設(shè)備直接連接到地是很危險(xiǎn)的。正是由于此原因,腕套接地導(dǎo)線、轉(zhuǎn)輪及腳趾帶箍的連接處均要串入一只不低于
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