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1、摘要片式電阻因其體積小、精度高、可靠性好等優(yōu)點(diǎn)被廣泛應(yīng)用于許多領(lǐng)域,有替代傳統(tǒng)電阻的趨勢(shì)。片式電阻是通過(guò)絲網(wǎng)將電阻材料印刷到電阻基片上的,其阻值通常具有不大于40%的制造誤差,一般采用激光調(diào)阻法對(duì)其阻值進(jìn)行修調(diào)。調(diào)阻精度是衡量激光調(diào)阻性能的重要技術(shù)指標(biāo),由于我國(guó)在激光調(diào)阻方面的研究起步較晚,與國(guó)外設(shè)備相比,國(guó)產(chǎn)激光調(diào)阻機(jī)的調(diào)阻精度有待進(jìn)一步提高。論文分析了影響激光調(diào)阻精度的因素,確定應(yīng)用優(yōu)化調(diào)阻控制策略的方法。實(shí)際數(shù)據(jù)表明,混合集成電路
2、中采用的同一臺(tái)激光調(diào)阻設(shè)備按照同一種精度要求微調(diào)電阻阻值時(shí),實(shí)際調(diào)阻精度與被調(diào)電阻的阻值具有一定的相關(guān)性。提高調(diào)阻精度,而優(yōu)化調(diào)阻控制策略的前提是準(zhǔn)確掌握激光調(diào)阻的阻值對(duì)調(diào)阻精度的影響,因此論文的研究?jī)?nèi)容為畢業(yè)設(shè)計(jì)的任務(wù)是基于數(shù)理統(tǒng)計(jì)原理,結(jié)合數(shù)值模擬方法,確定相關(guān)關(guān)系的定量表達(dá)式,并結(jié)合實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析驗(yàn)證。關(guān)鍵詞:激光調(diào)阻調(diào)阻精度線性擬合目錄目錄目錄第一章第一章緒論緒論................................
3、......................................................................................................11.1引言................................................................................................................
4、....................11.2激光調(diào)阻.............................................................................................................................51.3激光調(diào)阻系統(tǒng)及修調(diào)技術(shù)機(jī)理..................................................
5、..............................................61.4切割圖形....................................................................................................................................71.5激光調(diào)阻機(jī).........................
6、.......................................................................................................7第二章第二章線性擬合的基本原理線性擬合的基本原理............................................................................................
7、..............8第二章第二章MATLAB的應(yīng)用的應(yīng)用............................................................................................................93.1matlab產(chǎn)生隨機(jī)數(shù)................................................................
8、...............................................123.2線性擬合和線性回歸...........................................................................................................123.3擬合優(yōu)度與檢驗(yàn)........................................
9、...........................................................................14第四章第四章實(shí)驗(yàn)原理實(shí)驗(yàn)原理..............................................................................................................................194
10、.1實(shí)驗(yàn)?zāi)康?................................................................................................................................194.2試驗(yàn)分析............................................................................
11、.....................................................204.3試驗(yàn)步驟.................................................................................................................................21第五章第五章實(shí)驗(yàn)過(guò)程實(shí)驗(yàn)過(guò)程.............
12、.................................................................................................................215.1試驗(yàn)數(shù)據(jù)的獲得...............................................................................................
13、.......................215.2線性擬合過(guò)程..........................................................................................................................255.3拐點(diǎn)計(jì)算與結(jié)論....................................................
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