激光微調技術在激光調阻機中的應用研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文綜述了厚薄膜電阻微調的常用方法及其原理，重點介紹了激光微調技術在厚薄膜電阻微調中的應用，引入了薄膜電阻激光微調的理論模型，依據(jù)此模型，分析了在進行電阻微調過程中，激光參數(shù)的選擇原則：為保證調阻質量，應使激光能量傳遞到襯底；同時，為不使襯底產(chǎn)生龜裂，應控制到達襯底的激光能量。并全面地闡述了激光調阻機的構成及工作原理，對有關主要單元進行了細致的設計分析，給出了設計參數(shù)。 介紹了微調電阻常用的形狀以及調阻路徑，總結了影響激光調阻質

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