電磁驅(qū)動微運動的測量與控制方法畢業(yè)論文（設(shè)計）

1、摘要在微運動系統(tǒng)中，驅(qū)動器是實施微運動的關(guān)鍵部件，為了實現(xiàn)高精度的微運動，驅(qū)動器必須具備高運動精度和高定位精度，因此驅(qū)動器技術(shù)是微運動系統(tǒng)的核心技術(shù)。概括國內(nèi)外微運動系統(tǒng)驅(qū)動器技術(shù)，從驅(qū)動原理和方式上看，主要驅(qū)動形式有壓電驅(qū)動、靜電驅(qū)動、形狀記憶合金驅(qū)動和電磁驅(qū)動等。這次我的畢業(yè)設(shè)計的主要內(nèi)容是：采用電磁驅(qū)動、電感傳感器和PID控制方法，設(shè)計一套一維電磁式微驅(qū)動器的測量與控制系統(tǒng)，該驅(qū)動器的運動范圍是5mm、分辨率是1m。本次畢業(yè)設(shè)計第

2、1章介紹了電磁驅(qū)動國內(nèi)外研究的現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢介紹了電磁驅(qū)動的研究意義。第2章介紹了電磁驅(qū)動系統(tǒng)總體框圖對電磁鐵驅(qū)動理論和電感傳感器理論進行了分析。第3章設(shè)計了電感傳感器的信號采集電路和基于AD698的電感傳感器信號調(diào)理電路，對AT89C51做了簡要的介紹，設(shè)計出了基于AD7705與89C51的AD轉(zhuǎn)換電路和基于ZLG7290與89C51的顯示電路的硬件設(shè)計。設(shè)計了電磁驅(qū)動的功率放大電路。第4章對前面所做的工作和工作過程的感想做了小結(jié)。此

3、次畢業(yè)設(shè)計主要要完成的有：電磁驅(qū)動器的設(shè)計，電壓放大，AD、LED顯示管的選用以及單片機和它們的連接，簡單的單片機編程，PID控制方法和原理等內(nèi)容。關(guān)鍵詞：微機電系統(tǒng)；電磁驅(qū)動器；單片機；控制測量；硬件設(shè)計AbstractInthemicromotionsystemthedriveisakeycomponentoftheimplementationofmicromovementsindertoachievehighprecisionmi

4、cromotionthedrivermusthavehighprecisionhighpositioningaccuracyofmotionsothedrivetechnologyisthecetechnologyofmicromotionsystem.Generaldomesticmicromotionsystemdrivetechnologyprinciplesmethodsfromthedriverpointofviewthema

5、indriverinthefmofpiezoelectricelectrostaticactuationshapememyalloydriverelectromagicdrives.Thegraduationofmymaincontentis:usingelectromagicdriveinductivesenssPIDcontrolmethodtodesignaonedimensionalelectromagicmicrodrivec

6、ontrolsystemofmeasurementrangeofmotionofthedriveis5mmtheresolutionis1μm.ThegraduationprojectChapter1describesthestatusoftheelectromagicdrivedomesticfeignresearchdevelopmenttrendoftheresearchdescribedelectromagicdrivemean

7、ing.Chapter2describestheoverallblockdiagramoftheelectromagicdrivesystemtheytheinductivesenssolenoiddriventheyisanalyzed.Chapter3DesignoftheinductivesenssignalacquisitioncircuittheinductancebasedonAD698senssignalcondition

8、ingcircuitabriefintroductionofAT89C51isdesignedbasedontheAD7705the89C51oftheADconversioncircuitthedisplaybasedonZLG7290withthe89C51hardwarecircuitDesign.Designoftheelectromagicdrivepoweramplifiercircuit.Chapter4oftheprev

9、iouswkthewkprocesswithasummarythoughtsthemaingraduationprojecttobecompletedare:thedesignofelectromagicdrivesvoltageamplificationADLEDdisplaytubesthechoiceofmicrocontrollertheirconnectionssimplemicrocontrollerprogrammingP