原子力顯微術(shù)輪廓儀的新方法研究及系統(tǒng)研制_第1頁
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1、浙江大學碩士學位論文原子力顯微術(shù)輪廓儀的新方法研究及系統(tǒng)研制姓名：趙君臣申請學位級別：碩士專業(yè)：光學工程指導教師：章海軍20060101浙江大學碩十論文圖形盟示、粗糙度和膜厚計算的算法；改變電感測微儀的數(shù)據(jù)輸出方式，建立電感測微儀與計算機的連接，用來檢測比較粗糙的表面。在實驗和應(yīng)用方面，利用研制成功的A F MP r o f i l e r 系統(tǒng)，選取大量樣品進行了實驗。樣品包括多孑L 氧化鋁、光滑玻璃、標準薄鐵片、M g A l 2

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