原子力顯微術(shù)輪廓儀的新方法研究及系統(tǒng)研制_第1頁(yè)
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1、浙江大學(xué)碩士學(xué)位論文原子力顯微術(shù)輪廓儀的新方法研究及系統(tǒng)研制姓名：趙君臣申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專(zhuān)業(yè)：光學(xué)工程指導(dǎo)教師：章海軍20060101浙江大學(xué)碩十論文圖形盟示、粗糙度和膜厚計(jì)算的算法；改變電感測(cè)微儀的數(shù)據(jù)輸出方式，建立電感測(cè)微儀與計(jì)算機(jī)的連接，用來(lái)檢測(cè)比較粗糙的表面。在實(shí)驗(yàn)和應(yīng)用方面，利用研制成功的A F MP r o f i l e r 系統(tǒng)，選取大量樣品進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)。樣品包括多孑L 氧化鋁、光滑玻璃、標(biāo)準(zhǔn)薄鐵片、M g A l 2

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