基于0.18μmcmos工藝射頻mosfet特性與建模研究

1、浙江大學碩士學位論文基于0.18μm CMOS工藝射頻MOSFET特性與建模研究姓名：岳亞富申請學位級別：碩士專業(yè)：微電子學與固體電子學指導教師：丁扣寶20070501斯踐大學頸士學位論文A b s t r a c 專W i t hf a s tg r o w t h i nt h e r a d i of r e q u e n c y 《黼> w i r e l e s s c o m m u n i c a t i o n

2、s m a r k e t ,t h e d e m a n d f o rh i g hp e r f o r m a n c e b u t l o w c o s tR F s o l u t i o n s i sr i s i n g ．C o m p a r e d 、塒mt h e ’M O S F E Tm o d e l sf o rb o t hd i g i t a l a n da n a l o ga p p

3、l i c a t i o na t l o wf r c q h e n c y ,c o m p a c tm o d e l s f o rH F a p p l i c a t i o n s a r em o r ed i f f i c u l t t o d e v e l o p d u et o t h ea d d i t i o n a l r e q u i r e m e n to fb i a s - d e

4、 p e n d e n c ea n dg e o m e t r ys c a l i n go ft h ep a r a s i t i cc o m p o n e n t s a sw e l la st h er e q u i r e m e n t s o f a c c u r a t e p r e d i c a t i o no f t h e d i s t o r t i o na n dn o i s e

5、b e h a v i o r ．H o w e v e rt h eR FM O S F E T m o d e l i n gi ss t i l l a ta p r e l i m i n a r ys t a g ec o m p a r e d w i t h t h em o d e l i n g w o r kf o r d i g i t a la n d l o w f r e q u e n c y a n a

6、l o g a p p l i c a t i o n s 。E f f o r t sf r o m b o t h i n d u s t r ya n d u n i v e r s i t i e sa r e n e e d e d t ob r i n g R FM O S F E T m o d e l s協(xié)am a R a 罄l e v e li n f i L r t h c r i m p r o v i n g t

7、 h eR Fm o d e l si n d e s c r i b i n gt h eA Cc h a r a c t e r i s t i c s m o r e a c c u r a t e l y , a n d i n i m p r o v i n g t h e p r e d i c t i o n o fn o i s ec h a r a c t e r i s t i c s , d i s t o r t

8、 i o nb e h a v i o r , a n dN Q S b e h a v i o r ．R Fm o d e l i n go fM O S F E Tb a s e d o n O 。1 8 p r oC M O S p r o c e s s i sd i s c u s s e d ．1 ．R Ft e c h n o l o g y a t p r e s e n t i s i n t r o d u c e

9、d , i n c l u d e dC m A st e c h n o l o g y , S ib i p o l a r t e c h n o l o g y a n d S i G e t e c h n o l o g y ．T h e p n s s i b i H t y o fC M O St e c h n o l o g ya p p l i c a t i o n i nR F i n t e g r a t

10、ec i r c u i ti sd i s c u s s e d ．A n d t h ep r o c e s sa n d s p e c i a l d e v i c e s i nt h e R FC M O St e c h n o l o g y i s i n t r o d u c e d ．T h ec h a l l e n g eo f d e e ps u b - m i c r o n m e t e r

11、R FC M O S t e c h n o l o g yi si n t r o d u c e d ．R F t e c h n o l o g y w i l lt h e m a i np r o c e s s o n l yt h eR F e n g i n e e r sg a v e r e s o l v e dt h ep r o b l e m ．2 ．S e v e r a lc o m m o n M O

12、S F E T m o d e l sa r ci n t r o d u c e d ．T h eA C s m a l ls i g r l a lm o d e lo f R F M O S F E T i sd i s c u s s e d ．T h e 毯酶f r e q u e n c yp a r a s i t i ce f f e c to fM O S F E Ti s e m p h a s i so n , i

13、 n c l u d e d g a t er e s i s t a n c e ，s u b s t r a t er e s i s t a n c e ，a n dp a r a s i t i cc a p a c i t a n c e ．A n dt h e o p t i m i z a t i o no f 蠡e R F M O S F E T l a y o u tw i l li m p r o v e t h e

14、p e r f o r m a n c e o f R F M O S F E T ,3 ．T h ed e v i e e s h a v e b e e n m e a s u r e d a n d a n a l y z e d b o t h i n D Ca n dR Fc o n d i t i o n s ．A n d t h eB S I M 3 v 3 m o d e l h a v e b e e na d o p