2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
已閱讀1頁,還剩70頁未讀, 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進行舉報或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、中山大學(xué)碩士學(xué)位論文逐層熱處理工藝制備PbSrTiO薄膜和復(fù)合薄膜及其結(jié)構(gòu)與電學(xué)性能研究姓名:梁通申請學(xué)位級別:碩士專業(yè):凝聚態(tài)物理指導(dǎo)教師:包定華20080518工藝有利于改善薄膜的電學(xué)性能。6 5 0 0 C 熱處理下P t /T i 0 2 /S i 0 2 /S i 、L N O /S i 襯底上的P S T 5 0 薄膜,l k H z 時,介電常數(shù)及損耗分別為1 1 6 8 、0 .0 4 6 及1 2 8 0 、0 .0

2、2 3 ,剩余極化強度及矯頑場分別為5 .1 b t C /c m 2 、3 5 .7k V /c m 及7 .5 p , C /c m 2 、3 0 .6 k V /c m ;L N O /S i 襯底上薄膜的介電、鐵電性能比P t /T i 0 2 /S i 0 2 /S i 上薄膜的要好,這是由于L N O 與P S T 5 0 良好的晶格匹配或a 軸擇優(yōu)取向的影響;I T O 導(dǎo)電玻璃襯底上的薄膜在6 0 0 0 C 時具有較好

3、的介電、鐵電性能,這與P t 爪0 2 /S i 0 2 /S i 、L N O /S i襯底上薄膜不同,應(yīng)是玻璃襯底微形變致使薄膜產(chǎn)生微應(yīng)力所致。3 .針對P S T 5 0 復(fù)合薄膜改性的研究還較少,在P t /T i 0 2 /S i 0 2 /S i 襯底上制備了P S T 5 0 /B N T 復(fù)合薄膜,研究B N T 覆蓋層的引入對薄膜的結(jié)構(gòu)、介電及鐵電性能的影響。B N T 覆蓋層的引入可以有效降低P t /T i 0 2

4、 /S i 0 2 /S i 襯底上P S T 5 0 薄膜的損耗,在l k H z 時,薄膜的損耗降低了一個數(shù)量級,介電常數(shù)也有所減小,損耗的降低極有利于P S T 5 0 薄膜的實際應(yīng)用。受B N T 薄膜性質(zhì)的影響,薄膜的介電常數(shù)、調(diào)諧率、品質(zhì)因子、剩余價值極化強度及矯頑場等都受到了影響。薄膜的介電常數(shù)、調(diào)諧率、品質(zhì)因子都比P t /T i 0 2 /S i 0 2 /S i 襯底上P S T 5 0 薄膜有所降低,而剩余極化變化

5、不大,矯頑場則隨熱處理溫度的升高而減小。6 5 0 0 C 熱處理下的P S T 5 0 /B N T 復(fù)合薄膜,l k H z 時,介電常數(shù)及損耗分別為9 0 5 、0 .0 0 4 8 ;1 0 0 k H z電場頻率下,8 V 的偏置電壓測量時,調(diào)諧率及品質(zhì)因子分別為3 9 .1 %、8 .7 ;在8 V 的測試電壓下,剩余極化強度及矯頑場分別為9 .2 1 x C /c m 2 ,5 7 .7k V /c m .關(guān)鍵詞:鐵電薄膜

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評論

0/150

提交評論