用結(jié)構(gòu)色無損檢測(cè)光柵占空比的初步探索.pdf

1、本論文的主要研究工作是基于嚴(yán)格耦合波的結(jié)構(gòu)色檢測(cè)光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)的方法，主要分為理論計(jì)算和多層介質(zhì)膜光柵的參數(shù)測(cè)量?jī)蓚€(gè)部分。
　　在快點(diǎn)火系統(tǒng)中約束著系統(tǒng)性能的主要參數(shù)是多層介質(zhì)膜光柵的衍射效率?？紤]到光柵制作工藝中圖形多步轉(zhuǎn)移中的不確定因素，目前缺少無損檢測(cè)的手段對(duì)正式光柵制作工藝過程進(jìn)行有效可靠的檢測(cè)，本文的重點(diǎn)工作是提出了基于結(jié)構(gòu)色的無損檢測(cè)方法來測(cè)量光柵的參數(shù)。
　　一、給出了基于結(jié)構(gòu)色檢測(cè)光柵參數(shù)的基本原理和思路，詳細(xì)

2、的介紹了嚴(yán)格耦合波來求解周期性結(jié)構(gòu)的衍射效率的方法，分析了光源光譜和光柵衍射效率擬合成結(jié)構(gòu)色的方法，給出了具體的步驟和實(shí)現(xiàn)代碼，其中計(jì)算程序考慮了多維周期性結(jié)構(gòu)和錐角衍射等因素。
　　二、分析了光源的參數(shù)（偏振和半高寬）以及光柵的參數(shù)對(duì)結(jié)構(gòu)色的影響，其中光柵的參數(shù)包括了線密度，柵線高度，占空比，光柵形貌等等。給出的結(jié)論包括:光柵線密度在1740線每毫米時(shí)，對(duì)應(yīng)的結(jié)構(gòu)色對(duì)線密度變化不敏感;光柵柵線高度在300nm左右時(shí)，較小的柵線高