雙足壓電作動器的研究及其在二維平臺中的應用.pdf

1、近些年來，光電技術、精密制造加工、納米科學、航宇工程等領域對精密定位技術提出了越來越高的要求，如需要亞微米或納米級的定位分辨率，精細的運動控制等。非共振式壓電直線作動器具有精度高、響應快、可自鎖等特點，有望應用于新型精密運動平臺的作動之中。
　　本文研究的雙足壓電直線作動器，是以壓電疊堆為作動單元的一種非共振式作動器，在大行程下依然具有精度高、響應快、推力大的特點，應用于精密二維運動平臺時具有較大的優(yōu)勢。本文的主要研究內(nèi)容如下：<

2、br>　　介紹了壓電精密運動平臺的應用背景及其特點，概述了壓電作動技術的研究現(xiàn)狀；比較了共振與非共振式作動技術，歸納了以壓電疊堆為作動單元的非共振式作動器的特點。
　　介紹了壓電元件的特點及結構，總結了其使用方法與注意事項；考慮到壓電輸出對外加壓力的敏感性，對兩種壓電疊堆做了預緊力標定實驗；研究了兩種壓電疊堆的動態(tài)特性，獲得了不同預緊力下二者的激勵電壓、頻率與輸出振幅的關系。
　　根據(jù)對單、雙足壓電作動原理的比較及三相、四相