間距可調(diào)節(jié)雙線電火花線切割薄片加工技術(shù)研究.pdf

1、近年來，隨著智能終端、便攜式計(jì)算機(jī)、移動通信及軍事電子技術(shù)對硬件要求微型化的發(fā)展，切割出高質(zhì)量薄尺寸的基片與封裝切片成為目前加工制造業(yè)的難題。在該方面，多線切割（線鋸）是目前比較主流的技術(shù)，但相比而言，具有諸多優(yōu)勢的電火花線切割加工技術(shù)因其非接觸加工的特點(diǎn)，加工的切片，尤其是脆硬材料切片，具有表面質(zhì)量好、損傷層厚度薄、成品率高的優(yōu)點(diǎn)。然而該工藝方法除了效率問題外，切割較薄切片時(shí)切片易翹曲變形導(dǎo)致的加工質(zhì)量難控問題嚴(yán)重阻礙了其進(jìn)一步推廣和

2、應(yīng)用。因此如何減小切片翹曲度、提高加工精度及其切割加工效率是本文的研究重點(diǎn)。
　　本文首先針對薄切片的翹曲現(xiàn)象進(jìn)行了單線電火花線切割觀察實(shí)驗(yàn)，研究了脈沖放電能量、工件厚度及切片厚度等加工參數(shù)對切片翹曲度的影響。在完成對脈沖放電能量、脈沖放電通道半徑、模型熱源分析的前提下，針對單雙線電火花線切割加工這兩種不同加工工藝對加工薄切片的影響進(jìn)行了仿真建模，并分析了兩種加工條件下加工材料的溫度與內(nèi)部應(yīng)力分布云圖的差異及二者與加工切片翹曲程度

3、的關(guān)系。
　　基于前面的研究，設(shè)計(jì)制造了一套雙線電火花線切割的絲間距調(diào)節(jié)裝置，并在原有電火花機(jī)床工作臺本體上搭建了間距可調(diào)節(jié)雙線電火花線切割加工系統(tǒng)，該裝置成功實(shí)現(xiàn)了通過調(diào)節(jié)絲間距來控制加工切片厚度的目標(biāo)。針對單線切割過程中加工切片厚度低于120μm時(shí)翹曲嚴(yán)重的問題，進(jìn)行了單雙線薄切片加工對比實(shí)驗(yàn)，結(jié)果顯示本系統(tǒng)可以控制厚度120μm以下加工切片的翹曲變形。
　　為了解決多線電火花線切割精度的問題，本文以雙線切割為研究對象，