基于電容傳感器的薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)研究.pdf

1、薄膜厚度的均勻性是評(píng)價(jià)薄膜質(zhì)量的重要指標(biāo)之一。隨著印刷、包裝、絕緣材料等行業(yè)對(duì)高品質(zhì)薄膜需求的增加,傳統(tǒng)的離線檢測(cè)方式已經(jīng)不能滿(mǎn)足生產(chǎn)測(cè)試的需求,這就需要研制出一種能夠在線檢測(cè)薄膜厚度的系統(tǒng),可以在保證薄膜質(zhì)量的同時(shí)滿(mǎn)足產(chǎn)量的要求。本文正是基于上述原因?qū)Ρ∧ず穸葴y(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行研究。
　　本文利用電容傳感器精度高、能量損耗小、無(wú)接觸磨損等特點(diǎn),制作了符合薄膜厚度測(cè)量要求的傳感器探頭,并在此基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)了電容傳感器信號(hào)檢測(cè)電路。在傳感器探

2、頭的設(shè)計(jì)中,采用保護(hù)環(huán)技術(shù)及驅(qū)動(dòng)電纜技術(shù)來(lái)避免邊緣電場(chǎng)的影響和寄生電容的產(chǎn)生。在檢測(cè)電路的設(shè)計(jì)中,通過(guò)對(duì)多種常用方案的比較,選用了電容容抗測(cè)量方案,在方案的設(shè)計(jì)中采用了信號(hào)處理技術(shù)、數(shù)模混合技術(shù)、數(shù)據(jù)采集技術(shù)、單片機(jī)編程技術(shù)及數(shù)碼顯示技術(shù)。
　　在系統(tǒng)搭建完成后,本文首先進(jìn)行了系統(tǒng)標(biāo)定,得出系統(tǒng)的測(cè)量精度,然后通過(guò)溫度漂移特性的測(cè)量,對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行了校正,最后給出系統(tǒng)的測(cè)量誤差,并對(duì)誤差產(chǎn)生的原因作了詳細(xì)的分析。
　　通過(guò)對(duì)系統(tǒng)