基于電容傳感器的薄膜厚度測量系統(tǒng)研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩63頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

1、薄膜厚度的均勻性是評價薄膜質(zhì)量的重要指標之一。隨著印刷、包裝、絕緣材料等行業(yè)對高品質(zhì)薄膜需求的增加,傳統(tǒng)的離線檢測方式已經(jīng)不能滿足生產(chǎn)測試的需求,這就需要研制出一種能夠在線檢測薄膜厚度的系統(tǒng),可以在保證薄膜質(zhì)量的同時滿足產(chǎn)量的要求。本文正是基于上述原因?qū)Ρ∧ず穸葴y量系統(tǒng)進行研究。
　　本文利用電容傳感器精度高、能量損耗小、無接觸磨損等特點,制作了符合薄膜厚度測量要求的傳感器探頭,并在此基礎上設計了電容傳感器信號檢測電路。在傳感器探

2、頭的設計中,采用保護環(huán)技術及驅(qū)動電纜技術來避免邊緣電場的影響和寄生電容的產(chǎn)生。在檢測電路的設計中,通過對多種常用方案的比較,選用了電容容抗測量方案,在方案的設計中采用了信號處理技術、數(shù)?；旌霞夹g、數(shù)據(jù)采集技術、單片機編程技術及數(shù)碼顯示技術。
　　在系統(tǒng)搭建完成后,本文首先進行了系統(tǒng)標定,得出系統(tǒng)的測量精度,然后通過溫度漂移特性的測量,對系統(tǒng)進行了校正,最后給出系統(tǒng)的測量誤差,并對誤差產(chǎn)生的原因作了詳細的分析。
　　通過對系統(tǒng)

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論