超聲噴霧熱解法ZnO薄膜的制備與性能研究.pdf

1、本文綜述了ZnO薄膜的各種生長技術(shù)及其原理，并概括了ZnO薄膜研究的最新進展。著重介紹了節(jié)能鍍膜玻璃，特別是低輻射鍍膜玻璃的發(fā)展概況，節(jié)能特性、原理、低輻射膜的種類以及常用的制備方法等。 本實驗以醋酸鋅水-乙醇混合溶液為前驅(qū)體溶液，使用自制的超聲噴霧熱解系統(tǒng)在玻璃基板上制備得到了ZnO薄膜并利用X射線衍射儀(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、紫外-可見光光譜儀(UV-VisSpectrometer)等測試手段，對ZnO薄膜的結(jié)

2、構(gòu)和性能進行表征。研究了各種生長條件，如前驅(qū)物溶液濃度、去離子水-乙醇比例，襯底溫度和沉積時間等工藝參數(shù)對ZnO薄膜結(jié)構(gòu)和性能的影響。實驗結(jié)果表明，適宜的溫度，前驅(qū)體濃度是制備出具有優(yōu)良的均勻性和致密性薄膜的關(guān)鍵因素。溫度上升有利于制備出C軸取向生長的ZnO薄膜；450℃時，可以沉積出高質(zhì)量C軸擇優(yōu)取向的ZnO薄膜。當把前驅(qū)體溶液的濃度從O.1M增加到0.3M，ZnO薄膜的結(jié)晶性能越來越好，C軸取向性也越來越大。但是過高的前驅(qū)體溶液濃度