基于色散共焦法的精密元件三維檢測(cè)方法研究.pdf

1、隨著當(dāng)代科技的發(fā)展，微小及精密元件表面信息的檢測(cè)在諸多領(lǐng)域越來(lái)越受到重視，使用傳統(tǒng)的檢測(cè)方法對(duì)其進(jìn)行檢測(cè)，會(huì)有一定的限制，如尺寸過(guò)小、表面形狀變化不明顯以及在檢測(cè)過(guò)程中容易造成損傷等。三維重建是檢測(cè)表面信息的一種方法，并結(jié)合非接觸式測(cè)量方法，可以實(shí)現(xiàn)無(wú)損傷、高精度的檢測(cè)，所以在檢測(cè)微小及精密元件表面信息時(shí)，可以使用三維重建的方法對(duì)其進(jìn)行檢測(cè)。本文針對(duì)這個(gè)問(wèn)題提出了一種基于色散共焦法的精密元件三維檢測(cè)方法，并對(duì)該方法進(jìn)行了研究。
　

2、　調(diào)研國(guó)內(nèi)外色散共焦儀和三維重建領(lǐng)域內(nèi)的研究現(xiàn)狀后，發(fā)現(xiàn)在使用色散共焦儀進(jìn)行三維重建方面的研究還很少，大部分研究偏向于測(cè)量材料的厚度和共焦顯微鏡等方面的研究。此外，傳統(tǒng)的檢測(cè)方法已經(jīng)不能滿(mǎn)足于微小精密元件的檢測(cè)的要求，同時(shí)，對(duì)現(xiàn)有的微小及精密元件的檢測(cè)方法還可以進(jìn)行一定的改進(jìn)和探索。因此，本文所提出的檢測(cè)方法是以色散共焦儀為數(shù)據(jù)采集設(shè)備，沒(méi)有使用傳統(tǒng)三維重建中的攝像機(jī)及照相機(jī)對(duì)被測(cè)物體進(jìn)行二維圖像的采集，同時(shí)，對(duì)采集到的被測(cè)物體表面數(shù)據(jù)

3、進(jìn)行相應(yīng)的處理，研究了微小及精密元件表面信息的三維重建。
　　本課題中的主要工作有:首先，搭建了色散共焦檢測(cè)系統(tǒng)，包括色散共焦儀、微位移XY二維平臺(tái)、氣浮平臺(tái)、計(jì)算機(jī)等;其次，分析了本檢測(cè)系統(tǒng)中所用到的硬件部分，主要對(duì)色散共焦儀和微位移XY二維平臺(tái)進(jìn)行詳細(xì)的分析和理論上的研究，明確了相關(guān)部分的工作原理;接著，搭建了本檢測(cè)系統(tǒng)的空間三維坐標(biāo)系，使用相關(guān)建模軟件設(shè)計(jì)出其整體的實(shí)際結(jié)構(gòu)，同時(shí)，對(duì)采集路徑進(jìn)行了分析和規(guī)劃，根據(jù)規(guī)劃的路徑對(duì)