表面光極化散射特性的測(cè)量和?；夹g(shù)研究.pdf

1、本文首先闡述了研究課題的研究背景和意義,及國(guó)內(nèi)外發(fā)展動(dòng)態(tài).然后從四個(gè)方面入手,逐步對(duì)課題的各個(gè)主要內(nèi)容進(jìn)行描述.結(jié)合理論和實(shí)驗(yàn)對(duì)不同介質(zhì)的表面光極化散射特性和?；夹g(shù)進(jìn)行了研究.通過運(yùn)用矩陣法和遞推法,理論計(jì)算得到不同介質(zhì)的極化反射率,從而得到介質(zhì)的極化反射特性,為以后的目標(biāo)散射研究提供了理論數(shù)據(jù);介紹了光學(xué)常數(shù)的測(cè)量方法和橢偏法;通過橢偏儀測(cè)量得到不同介質(zhì)的光學(xué)常數(shù);并對(duì)不同介質(zhì)的測(cè)量結(jié)果進(jìn)行分析處理:分析得到了類金剛石薄膜的可見光波

2、段的光學(xué)特性,并通過色度坐標(biāo)模型數(shù)值擬合了類金剛石薄膜的折射率;提出通過對(duì)紫外波段的分析來檢驗(yàn)氧化鉿薄膜樣品的制備.運(yùn)用網(wǎng)格法和修正的牛頓迭代法對(duì)透明介質(zhì)的折射率和膜層厚度進(jìn)行了數(shù)值反演,通過與測(cè)量數(shù)據(jù)的比較,說明了兩種方法的正確性,同時(shí)比較兩種方法的不同;在計(jì)算粗糙面散射方面,根據(jù)介質(zhì)表面特性,運(yùn)用微擾法數(shù)值計(jì)算了硅片和類金剛石薄膜的雙站雷達(dá)散射截面(LRCS)和雙向反射分布函數(shù)(BRDF),分析了兩種介質(zhì)的散射特性;本文最后通過以微