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1、納米TiO2在光催化污水處理、大氣治理和染料敏化太陽(yáng)能電池等環(huán)境與能源領(lǐng)域表現(xiàn)出的超化學(xué)穩(wěn)定型、高生物活性以及良好的光催化性能等優(yōu)點(diǎn),近年來(lái)被廣泛的研究。但是由于TiO2在結(jié)構(gòu)上的缺陷會(huì)使它在光催化降解污染物時(shí),對(duì)光能的利用率較低,導(dǎo)致它的研究仍處于實(shí)驗(yàn)探索階段。因此,研究學(xué)者們針對(duì)如何提高TiO2對(duì)光能的利用率展開(kāi)了大量的研究,而通過(guò)實(shí)現(xiàn)TiO2薄膜的表面可塑性來(lái)降低它的結(jié)構(gòu)缺陷,以拓寬它對(duì)光能的利用率的研究具有重要的意義。
2、 本文采用磁控濺射法(Magnetron Sputtering,MS)、電子束蒸發(fā)法(Electron Beam Evaporation,EBE)和原子層沉積法(Atomic Layer Deposition,ALD)分別在Si和石英襯底上制備TiO2薄膜,并在N2氛圍下對(duì)其進(jìn)行退火處理。對(duì)于前兩種方法制備的TiO2薄膜,我們探討了不同退火溫度下TiO2薄膜的晶型結(jié)構(gòu)、表面形貌以及光學(xué)性能的變化。對(duì)于原子層沉積法制備的TiO2薄膜,探討
3、了不同條件的退火對(duì)不同循環(huán)周期數(shù)制備的TiO2的晶型結(jié)構(gòu)、表面形貌和光學(xué)性能的影響。利用X-射線衍射(XRD)、透射電子顯微鏡(TEM)、場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)、原子力顯微鏡(AFM)、拉曼光譜(Raman)、和分光光度計(jì)等測(cè)試方法對(duì)薄膜的性能進(jìn)行表征。結(jié)果表明,磁控濺射法和電子束蒸發(fā)法制備的沉積態(tài)TiO2薄膜為非晶態(tài)連續(xù)平整的薄膜,經(jīng)400℃-5min退火后,磁控濺射法制備的TiO2薄膜晶型向銳鈦礦轉(zhuǎn)變,溫度升高至600
4、℃時(shí),晶型結(jié)構(gòu)未發(fā)生改變。電子束蒸發(fā)法制備的TiO2薄膜當(dāng)退火條件為500℃-5min時(shí),晶型向銳鈦礦轉(zhuǎn)變,受到退火時(shí)間的制約,結(jié)晶并不明顯。兩種方法制備的TiO2薄膜沉積態(tài)和退火態(tài)樣品光學(xué)透過(guò)率都很高,這與物理氣相沉積的原理導(dǎo)致薄膜致密平整有關(guān)。另外,退火后的TiO2的禁帶寬度相對(duì)沉積態(tài)有所增加,但升高退火溫度后禁帶寬度減小。
對(duì)于原子層沉積的TiO2薄膜,我們探討了沉積周期分別為1200cycles、2100cycles和
5、6000cycles的TiO2在不同退火條件下的晶型結(jié)構(gòu)、表面形貌以及光學(xué)性能。研究發(fā)現(xiàn),原子層沉積的TiO2呈現(xiàn)明顯的顆粒結(jié)構(gòu),其密集程度、顆粒大小和粗糙度與循環(huán)周期相關(guān)。通過(guò)對(duì)樣品進(jìn)行了XRD和TEM的表征,發(fā)現(xiàn)循環(huán)周期為1200cycles的沉積態(tài)TiO2的晶型為銳鈦礦結(jié)構(gòu)。另外,由于不同循環(huán)周期的TiO2表面粗糙程度和密集程度不一,造成光學(xué)透過(guò)率也有所差別,退火態(tài)的TiO2的光學(xué)透過(guò)率隨薄膜表面粗糙度的變化而變化,禁帶寬度受氧空
6、位濃度和 O-Ti-N化合物的影響也發(fā)生改變。
結(jié)合磁控濺射技術(shù)、旋涂技術(shù)、反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)和退火干燥技術(shù),在長(zhǎng)有Ti膜的Si和石英襯底上組裝具有一定空隙結(jié)構(gòu)的SiO2膠體球模板,選用原子層沉積法在膠體球模板的表層和空隙內(nèi)負(fù)載循環(huán)周期為2100cycles的TiO2,比較了沉積態(tài)和退火態(tài)負(fù)載型納米結(jié)構(gòu)TiO2的晶型結(jié)構(gòu)、表面形貌和光學(xué)性能的差異。并以10mg/L的甲基橙溶液作為待降解物,對(duì)比相同沉積周期的純TiO2和負(fù)載型Ti
7、O2的光催化性能。研究表明,利用原子層沉積法在基底上沉積TiO2會(huì)在SiO2膠體球上覆蓋一層TiO2,但同時(shí)表面也會(huì)出現(xiàn)TiO2團(tuán)聚顆粒。經(jīng)過(guò)退火后樣品的結(jié)晶質(zhì)量更加完善,表面粗糙度有減小的趨勢(shì),氧空位濃度的增加也導(dǎo)致禁帶寬度變大,吸收邊緣發(fā)生藍(lán)移。相對(duì)純TiO2而言,負(fù)載型TiO2的Raman增強(qiáng)效應(yīng)更加明顯,但光學(xué)透過(guò)率會(huì)受到薄膜厚度的限制有所降低。經(jīng)過(guò)9h的紫外光照射后,退火條件為500℃-30min的負(fù)載型TiO2對(duì)甲基橙的分解
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