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文檔簡介
1、透明導電氧化物薄膜作為一種功能材料有大的載流子濃度和光學禁帶寬度,因而表現(xiàn)出優(yōu)良的光電特性,如較低的電阻率和較高的可見光透過率等.SnO<,2>:Sb(ATO)薄膜由于具有優(yōu)良的光電特性而成為In<,2>O<,3>:Sn(ITO)薄膜的潛在替代材料,可以應用于光電器件的透明電極以及低輻射玻璃等,且它還具有原材料來源豐富、成本低廉、穩(wěn)定性較好等優(yōu)點,是目前研究薄膜材料的熱點之一.本研究課題以SnO<,2>和Sb<,2>O<,3>兩種氧化物
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