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1、本文針對(duì)ABO3型氧化物薄膜,從理論模擬和實(shí)驗(yàn)研究?jī)蓚€(gè)方面對(duì)其生長(zhǎng)機(jī)制進(jìn)行了比較深入的研究。文章針對(duì)多元金屬反應(yīng)共沉積法,提出了一種基于蒙特卡羅方法的模擬多元氧化物薄膜生長(zhǎng)的原子層次的三維模型及模擬算法,模擬了PbTiO3薄膜生長(zhǎng)初始階段的表面形貌。針對(duì)分子級(jí)的薄膜沉積,采用蒙特卡羅方法發(fā)展了模擬ABO3型多元氧化物薄膜同質(zhì)外延生長(zhǎng)的三維模型及模擬算法。模擬了不同沉積速率和不同沉積溫度下的生長(zhǎng)形貌、生長(zhǎng)模式、RHEED曲線和RMS曲線、
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