（Ti）-Fe-Ti納米薄膜的制備、微結(jié)構(gòu)和磁特性研究.pdf

1、磁性薄膜的研究，是磁學(xué)領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。其研究成果不僅可以直接應(yīng)用于磁記錄、傳感器等領(lǐng)域，同時(shí)又可以豐富和完善微磁學(xué)理論。 本論文應(yīng)用對(duì)靶磁控濺射法制備了一系列Ti/Fe/Ti和Fe/Ti磁性納米薄膜，并利用VSM、SPM和XRD等對(duì)材料的磁特性和微結(jié)構(gòu)進(jìn)行了研究。分析、討論了Ti層厚度(x)、退火溫度(T<,a>)以及基底溫度(T<,s>)對(duì)薄膜微結(jié)構(gòu)與磁特性的影響。 實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)Ti層厚度(x)、退火溫度(T<,a>)以及

2、基底溫度(T<,s>)對(duì)類三明治結(jié)構(gòu)Ti/Fe/Ti納米薄膜的微結(jié)構(gòu)和磁特性有很大影響。XRD結(jié)果表明，所有薄膜樣品均呈現(xiàn)體心立方(BCC)織構(gòu)；VSM測(cè)量結(jié)果顯示，所有樣品均顯示較強(qiáng)的垂直各向異性，對(duì)500℃退火30分鐘后的Ti(56 nm)/Fe(45nm)/Ti(56nm)樣品，磁性能最好，垂直矯頑力最大為3.4 kOe；AFM圖表明此時(shí)樣品的形狀各向異性表現(xiàn)更為明顯，而高的矯頑力主要是由于樣品的形狀各向異性引起。 另外，