衍射光學(xué)中的嚴(yán)格耦合波分析方法.pdf

1、中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)博士學(xué)位論文衍射光學(xué)中的嚴(yán)格耦合波分析方法姓名：陳德偉申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：博士專業(yè)：光學(xué)指導(dǎo)教師：李永平20040501中國(guó)科學(xué)技術(shù)人學(xué)博十學(xué)位論文摘要比同時(shí)增加或者同時(shí)減小時(shí)可以允許人約10％的誤著如果。i空比不是同時(shí)增加和同時(shí)減小，此時(shí)只能允許4％的誤籌。4、采用兩種思路設(shè)計(jì)了一種用丁光束采樣的變周期光柵，先從一維矩形光柵的衍射特性與采樣光柵的特性對(duì)比開(kāi)始。將一維矩形光柵結(jié)構(gòu)作一定的改變?cè)O(shè)計(jì)出采樣光柵，發(fā)現(xiàn)采樣光柵就是菲涅

2、爾波帶片的一離軸區(qū)域，用波帶片的環(huán)帶公式得到與川光柵公式計(jì)算相同的結(jié)論。最Jl亓用RCWA方法對(duì)其衍射特性進(jìn)行了詳細(xì)分析，并對(duì)要求嚴(yán)格的采樣光柵進(jìn)行了刻蝕深度的寬容度分析。5、以RCWA方法為主要計(jì)算方法構(gòu)建了一套運(yùn)行yMatlab平臺(tái)上的衍射光柵分析軟什。該軟件簡(jiǎn)單易_|=Ij它將各種光柵結(jié)構(gòu)分為不同的兒人類別，使用者只需要在相麻的光柵類別中輸入自己的參數(shù)，然斤簡(jiǎn)單的點(diǎn)擊兒個(gè)按鈕就能得到分析結(jié)果。該軟件界面友好，光柵模型、光柵參數(shù)平【