數(shù)字散斑相關(guān)技術(shù)在鼓膜測試中的應(yīng)用.pdf

1、薄膜力學(xué)性能是當(dāng)今MEMS技術(shù)中一個很重要的參數(shù)，對于微結(jié)構(gòu)器件的研究和應(yīng)用有很大的影響。半個多世紀(jì)以來，鼓膜實驗(Bulge test)測試技術(shù)被廣泛地運(yùn)用于薄膜的力學(xué)性能測試中。論文期間，本人用數(shù)字散斑相關(guān)方法(DSCM)對傳統(tǒng)的鼓膜實驗進(jìn)行了改進(jìn)，簡化了實驗條件和環(huán)境，并完成了一系列的驗證實驗。 論文首先對數(shù)字散斑相關(guān)方法和薄膜力學(xué)性能測試技術(shù)分別進(jìn)行文獻(xiàn)調(diào)研，了解這兩種方法的當(dāng)今的運(yùn)用與發(fā)展情況。然后根據(jù)他們各自的特點與

2、長處，把這兩種方法結(jié)合起來。設(shè)計在薄膜中心制作一個標(biāo)志點，并在加載過程中，通過長距離顯微鏡從側(cè)面觀測標(biāo)志點的變化來測出薄膜中心的撓度(也就是離面位移)。目的在于更有效方便地完成鼓膜實驗，簡化傳統(tǒng)方法的實驗條件。 期間，先設(shè)計了相關(guān)的驗證實驗，證明了該實驗方法是可以從側(cè)面測定帶標(biāo)志點物體的離面位移變化。然后，設(shè)計并完成了0.2mm黃銅薄板的鼓膜實驗，包括實驗平臺的設(shè)計制作，微型壓力傳感器的設(shè)計制作。實驗結(jié)果雖然不是十分理想，但整個