衍射光柵制備工藝的研究.pdf

1、衍射光柵是一種應(yīng)用非常廣泛的光學(xué)元件,其制備技術(shù)和制備材料在不斷的發(fā)展、創(chuàng)新,隨著各種光刻技術(shù)的不斷涌現(xiàn),衍射光柵開始向著高分辨率、高衍射效率、均勻性好、面積大、性能更加穩(wěn)定的方向發(fā)展。本論文在實(shí)驗(yàn)室前輩實(shí)踐基礎(chǔ)上,優(yōu)化實(shí)驗(yàn)條件進(jìn)行衍射光柵的制備。論文研究了不同孔徑的光闌在衍射光路中對(duì)曝光場(chǎng)影響,結(jié)果表明光闌的孔徑尺寸越小,曝光場(chǎng)光強(qiáng)分布越均勻,但同時(shí)會(huì)導(dǎo)致光強(qiáng)的損失。綜合以上兩種因素本文選擇了10μm孔徑光闌,制備出周期為833nm的

2、ZrO2薄膜光柵,其直徑可達(dá)30mm以上。ZrO2薄膜光柵經(jīng)過不同溫度的熱處理之后,并進(jìn)行表面鍍金,最終獲得的光柵衍射效率可達(dá)54.33％。采用雙光束雙曝光激光干涉法制備出周期為2μm,形狀規(guī)整,分布均勻的二維布拉格光柵,其一級(jí)衍射效率在未鍍膜的情況下可達(dá)到26.46%,該格柵具有很強(qiáng)的分光特性,可作分束器進(jìn)行分光。為了獲得高衍射效率的光柵,本論文還采用增加衍射光柵厚度的方法來提高衍射效率,嘗試用“自組裝”工藝制備光柵,選用厚度為200