成像法測(cè)量取樣光柵衍射效率研究.pdf

1、本文圍繞成像法測(cè)量取樣光柵衍射效率均勻性，進(jìn)行了理論分析和實(shí)驗(yàn)研究。在ICF系統(tǒng)中，取樣光柵衍射效率是取樣光柵的重要指標(biāo)，其測(cè)量對(duì)于取樣光柵制作和使用尤為重要，可以提供反饋信息。
　　 首先，提出了成像法測(cè)量取樣光柵衍射效率均勻性的新思路：合理設(shè)置測(cè)量結(jié)構(gòu)，使觀察平面與衍射元件之間形成成像關(guān)系，采用面陣CCD在觀察平面上直接測(cè)量光強(qiáng)，并根據(jù)成像關(guān)系推導(dǎo)衍射元件的衍射光強(qiáng)分布。
　　 其次，給出了兩種符合成像法測(cè)量的光路結(jié)

2、構(gòu)：“小孔成像”成像法和“物像共軛關(guān)系”成像法，對(duì)兩種光路結(jié)構(gòu)分別進(jìn)行理論模擬和相應(yīng)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，分析得出“物象共軛關(guān)系”成像法更加適合采用小幅面面陣CCD進(jìn)行取樣光柵衍射效率的成像測(cè)量。并且構(gòu)建了基于“物像共軛關(guān)系”成像法光路結(jié)構(gòu)的取樣光柵衍射效率測(cè)量光路。分析了其測(cè)量原理和取樣效率轉(zhuǎn)換關(guān)系，進(jìn)而討論了測(cè)量光強(qiáng)的定標(biāo)問(wèn)題。
　　 然后，基于全息干涉原理設(shè)計(jì)滿足激光直寫制作精度要求的補(bǔ)償元件，推導(dǎo)出全息圖的條紋位置公式。利用牛頓迭代

3、算法搜索條紋分布，將條紋分布轉(zhuǎn)化為制作補(bǔ)償元件的像素點(diǎn)陣的bmp文件，用于圖形化激光直寫。
　　 最后，采用Zemax光學(xué)設(shè)計(jì)軟件，設(shè)計(jì)優(yōu)化了用于雙光束干涉方法制作補(bǔ)償元件的記錄參數(shù)，并且全息曝光制作補(bǔ)償元件。搭建了成像法測(cè)量取樣光柵衍射效率的測(cè)量光路，測(cè)得了用于定性分析的結(jié)果，驗(yàn)證了成像法測(cè)量取樣光柵衍射效率的可行性。
　　 與傳統(tǒng)逐點(diǎn)法測(cè)量取樣光柵衍射效率相比，新方法擯棄了傳統(tǒng)測(cè)量復(fù)雜的光學(xué)元件和測(cè)試光路；避免了逐點(diǎn)