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1、橢偏測量技術(shù)是利用光束在薄膜上反射和透射時出現(xiàn)的偏振變化,通過橢偏儀測量其橢偏參數(shù)的變化,用計算機處理由測量得到的橢偏參數(shù)從而反演得到待測薄膜的各種光學參數(shù).該論文的主要工作包括:結(jié)合光柵的矢量衍射理論和薄膜的橢偏理論,詳細分析了光柵的橢偏特性;并且根據(jù)一些橢偏特性設(shè)計出一款正入射反射型單波長1/4波片;在光柵參數(shù)的橢偏反演中,引入正單純形法作為反演算法,分別以各向同性的正弦形金屬光柵和各向異性的階梯型光柵為例,在標準橢偏值的基礎(chǔ)上加入
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