穆勒矩陣橢偏測量實(shí)驗平臺設(shè)計與實(shí)現(xiàn).pdf

1、在納米技術(shù)研究和納米制造工藝等應(yīng)用領(lǐng)域，納米結(jié)構(gòu)測量方法研究日顯重要。在納米測量實(shí)際操作中，不僅需要快捷、精確地測量出納米結(jié)構(gòu)重要三維形貌尺寸，同時需要盡可能減小對被測樣品的破壞和污染。由于傳統(tǒng)納米結(jié)構(gòu)測量手段無法同時滿足上述兩點(diǎn)，本學(xué)位論文在國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項的資助下，研究穆勒矩陣橢偏測量實(shí)驗平臺的設(shè)計與實(shí)現(xiàn)。主要工作如下：
　　完成了一種雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器的穆勒矩陣橢偏測量光路的設(shè)計，并通過分析比較關(guān)鍵元件選型，確定了光學(xué)

2、硬件組成。重點(diǎn)介紹了光學(xué)硬件平臺的設(shè)計，并結(jié)合光路設(shè)計和相應(yīng)光學(xué)元件選型，將起偏光路和檢偏光路最大程度的集成到一個光學(xué)平臺上，并以此為基礎(chǔ)開展測量實(shí)驗平臺控制單元的搭建和調(diào)試。
　　完成了基于雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器同步運(yùn)動控制的設(shè)計與實(shí)現(xiàn)，即通過實(shí)時采集兩個帶動補(bǔ)償器旋轉(zhuǎn)的電機(jī)零位信號，當(dāng)兩個電機(jī)處于同步狀態(tài)時，所設(shè)計的同步信號觸發(fā)采集卡向光譜儀外部觸發(fā)接口發(fā)出光譜采集信號，完成對測量數(shù)據(jù)精確的同步采集。
　　在測量實(shí)驗平臺所需的光學(xué)