穆勒矩陣橢偏儀主控系統(tǒng)設(shè)計與實現(xiàn).pdf

1、隨著納米光學(xué)測量技術(shù)的發(fā)展，能夠?qū)崿F(xiàn)對樣品非接觸、非破壞、快速甚至動態(tài)測量的橢偏測量技術(shù)得到廣泛應(yīng)用，橢偏儀就是通過檢測光的偏振特性進(jìn)行測量的一種科學(xué)儀器。穆勒矩陣橢偏儀是一種新型的橢偏儀，一次測量能夠得到16個測量參數(shù)，從而獲取更多樣品信息,實現(xiàn)對光學(xué)各向異性材料的光學(xué)特性及納米結(jié)構(gòu)的三維形貌參數(shù)測量?？刂葡到y(tǒng)是穆勒矩陣橢偏儀的重要組成部分，是穆勒矩陣橢偏儀能夠進(jìn)行精確測量的關(guān)鍵。本文根據(jù)穆勒矩陣橢偏儀的功能需求針對穆勒矩陣橢偏儀的主

2、控系統(tǒng)進(jìn)行了設(shè)計，并完成了對主控系統(tǒng)的實驗測試。
　　本文主要對穆勒矩陣橢偏儀的主控系統(tǒng)進(jìn)行了整體設(shè)計和硬件平臺的搭建，完成了主控系統(tǒng)中起偏臂和檢偏臂角度控制模塊的設(shè)計，采用了角度校準(zhǔn)算法縮短了角度定位的時間。同時,為了實現(xiàn)光譜數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確采集，本文對主控系統(tǒng)中的光譜儀同步觸發(fā)控制模塊進(jìn)行了詳細(xì)設(shè)計，實現(xiàn)了對不同型號的光譜儀的觸發(fā)控制。此外，根據(jù)穆勒矩陣橢偏儀對人機交互和記錄氘燈、鎢燈使用時間的需求，在主控系統(tǒng)中設(shè)計了液晶顯示和時間