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文檔簡介
1、在精密測量時(shí),由于測量精度要求達(dá)到微米甚至是納米級(jí)別,接觸式檢測方法容易產(chǎn)生彈性形變而影響測量精度,甚至對被測元件表面造成磨損,因此,非接觸式測量更利于精密檢測。非接觸式檢測方法具有測量速度快,測量精度高等優(yōu)點(diǎn),故越來越廣泛的應(yīng)用在精密測量中。現(xiàn)在市場上的非接觸測量儀器主要有電容傳感器、電感傳感器、激光干涉儀等,但是成本較高,且不易于搬運(yùn)和攜帶,操作復(fù)雜,故其應(yīng)用范圍比較局限。
本文在研究數(shù)字多功能光盤( DVD)激光頭的自動(dòng)
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