基于ARM的激光干涉儀抗振技術(shù)研究.pdf

1、光干涉測(cè)量技術(shù)是一種非接觸式測(cè)量，具有很高的測(cè)量靈敏度和精度。干涉測(cè)量應(yīng)用范圍十分廣泛，可用于位移、長度、角度、面形等方面的測(cè)量。干涉儀以干涉條紋來反映被測(cè)件的信息，其原理是將光分成兩路，干涉條紋是兩路光光程差相同點(diǎn)連成的軌跡。在干涉測(cè)量中，外界振動(dòng)和空氣擾動(dòng)會(huì)引起兩路光光程差的變化，使干涉圖發(fā)生抖動(dòng)，降低了干涉技術(shù)的測(cè)量精度，限制了干涉技術(shù)的應(yīng)用范圍。因此，設(shè)計(jì)一個(gè)完善的抗振系統(tǒng)具有重要的意義。
　　本文首先分析了振動(dòng)對(duì)干涉測(cè)量

2、的影響，介紹了抗振干涉技術(shù)的研究現(xiàn)狀。然后研究了抗振干涉技術(shù)的相關(guān)原理，根據(jù)系統(tǒng)需求，提出了基于ARM的激光干涉儀抗振方案。本文設(shè)計(jì)的抗振系統(tǒng)由振動(dòng)探測(cè)模塊、處理控制模塊、振動(dòng)補(bǔ)償模塊以及移相干涉系統(tǒng)組成。振動(dòng)探測(cè)模塊實(shí)現(xiàn)光強(qiáng)信號(hào)的探測(cè);處理控制模塊負(fù)責(zé)對(duì)光強(qiáng)信號(hào)進(jìn)行處理分析，并輸出控制信號(hào);振動(dòng)補(bǔ)償模塊通過精密電壓源改變可調(diào)諧激光器的輸出波長，對(duì)振動(dòng)信號(hào)進(jìn)行補(bǔ)償，使干涉條紋保持穩(wěn)定。
　　論文對(duì)系統(tǒng)的各功能模塊進(jìn)行了分析與設(shè)計(jì)，