變截面多線螺旋電極微細(xì)電解展成加工技術(shù)研究.pdf

1、在內(nèi)壁具有粗糙肋的、連續(xù)或者非連續(xù)微結(jié)構(gòu)的管件，傳熱效率有顯著地提高，降低能耗，有效地提高電子器件的散熱性能，延長(zhǎng)其使用壽命，管內(nèi)微結(jié)構(gòu)對(duì)提高熱管總體傳熱性能有重要影響，相比于連續(xù)微結(jié)構(gòu)，非連續(xù)微結(jié)構(gòu)更有利于冷凝液表面張力發(fā)揮作用和液體的沸騰，促進(jìn)冷凝膜內(nèi)部的對(duì)流換熱、沸騰泡核的成倍增長(zhǎng)和氣泡的大量發(fā)生和蒸發(fā)。非連續(xù)微結(jié)構(gòu)內(nèi)壁是在管件內(nèi)表面上擁有非連續(xù)的微米級(jí)溝槽，沿著內(nèi)壁形成大面積的規(guī)則圖案。但目前在小管徑的管內(nèi)壁加工出非連續(xù)微結(jié)構(gòu)是

2、該項(xiàng)技術(shù)的關(guān)鍵所在，電解加工技術(shù)作為一種高效、低成本的加工方式，以離子去除的方式進(jìn)行陽(yáng)極溶解，因此在微納加工領(lǐng)域有巨大的應(yīng)用前景。
　　本文結(jié)合管內(nèi)壁非連續(xù)微結(jié)構(gòu)的加工工藝要求，制定了紫外光固化技術(shù)、微細(xì)電解加工技術(shù)相結(jié)合的工藝方法，圍繞著管內(nèi)壁非連續(xù)微結(jié)構(gòu)溝槽的電解深度和電解寬度兩個(gè)指標(biāo)進(jìn)行微細(xì)電解展成加工工藝的探索。
　　結(jié)合管內(nèi)壁非連續(xù)微結(jié)構(gòu)加工的工藝特點(diǎn)，設(shè)計(jì)了基于LabVIEW圖形化控制系統(tǒng)對(duì)管內(nèi)壁進(jìn)行微細(xì)電解展成

3、加工的試驗(yàn)平臺(tái)。該試驗(yàn)臺(tái)包括本體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)和電解液循環(huán)系統(tǒng)設(shè)計(jì)三大部分，并采用高頻脈沖電流實(shí)現(xiàn)管內(nèi)壁微結(jié)構(gòu)的微細(xì)電解展成加工。選用變截面多線螺旋電極的制作方法，并對(duì)電極錐度的大小、加工電壓、NaNO3電解液濃度與電場(chǎng)分布的聯(lián)系進(jìn)行仿真分析，設(shè)計(jì)掩膜層圖案，改進(jìn)制作工藝，采用紫外光固化技術(shù)對(duì)含有錐度的陰極進(jìn)行多頭螺旋線掩膜。
　　采用電解電源提供穩(wěn)定的脈沖電流，通過(guò)對(duì)人機(jī)界面進(jìn)行精確控制加工。研究發(fā)現(xiàn)加工電壓、NaNO3