晶圓制造Interbay物料運(yùn)輸系統(tǒng)智能調(diào)度技術(shù)研究.pdf

1、半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)是當(dāng)今最為復(fù)雜的離散制造系統(tǒng)之一，具有可重入流、大規(guī)模在制品混合加工、加工工序復(fù)雜、加工周期長(zhǎng)、設(shè)備昂貴以及設(shè)備負(fù)載不均衡等明顯區(qū)別于其他制造業(yè)的特點(diǎn)。隨著自動(dòng)化物料運(yùn)輸系統(tǒng)的普及，如何利用自動(dòng)物料運(yùn)輸系統(tǒng)來(lái)提高晶圓制造企業(yè)的整體生產(chǎn)效率成為了亟待解決的問(wèn)題。晶圓制造自動(dòng)化物料運(yùn)輸系統(tǒng)包括了Interbay和Intrabay物料運(yùn)輸系統(tǒng)，其中Interbay物料運(yùn)輸系統(tǒng)是主要組成部分。通過(guò)對(duì)Interbay物料運(yùn)輸系統(tǒng)

2、的優(yōu)化調(diào)度，可以減少晶圓卡派送時(shí)間和等待時(shí)間，提高運(yùn)輸小車?yán)寐剩岣呔A產(chǎn)出量，縮短晶圓加工周期并提高整體設(shè)備利用率。因此研究Interbay物料運(yùn)輸系統(tǒng)的優(yōu)化調(diào)度，對(duì)晶圓制造系統(tǒng)具有極其重要的意義。本文的研究圍繞這一問(wèn)題展開(kāi)，具體研究?jī)?nèi)容包括：
　　1）根據(jù) Interbay物料運(yùn)輸實(shí)時(shí)優(yōu)化調(diào)度問(wèn)題的特點(diǎn)，以減少工件派送時(shí)間、提高運(yùn)輸效率為目標(biāo)，綜合考慮Interbay物料運(yùn)輸調(diào)度過(guò)程中多個(gè)影響因素建立Interbay物料運(yùn)輸

3、實(shí)時(shí)指派成本模型，將基于改進(jìn)匈牙利算法的最優(yōu)指派方法和基于模糊邏輯控制技術(shù)的動(dòng)態(tài)權(quán)重調(diào)節(jié)方法相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)Interbay物料運(yùn)輸實(shí)時(shí)優(yōu)化調(diào)度。
　　2）研究基于復(fù)合啟發(fā)式調(diào)度規(guī)則的Interbay物料運(yùn)輸優(yōu)化調(diào)度方法，提出基于遺傳規(guī)劃的Interbay物料運(yùn)輸優(yōu)化調(diào)度規(guī)則構(gòu)造方法，獲得能夠在動(dòng)態(tài)隨機(jī)情形下實(shí)現(xiàn)Interbay物料運(yùn)輸調(diào)度系統(tǒng)優(yōu)化調(diào)度，并且具有較強(qiáng)魯棒性的復(fù)合啟發(fā)式規(guī)則。
　　3）研究將晶圓調(diào)度和小車運(yùn)輸調(diào)度相

4、結(jié)合的Interbay物料運(yùn)輸優(yōu)化調(diào)度方法。根據(jù)實(shí)時(shí)多目標(biāo)要求，建立面向晶圓加工調(diào)度和小車運(yùn)輸調(diào)度相結(jié)合的調(diào)度問(wèn)題數(shù)學(xué)模型，將晶圓調(diào)度、小車指派和小車路由過(guò)程結(jié)合起來(lái)考慮，并采用并行多目標(biāo)遺傳算法進(jìn)行求解，突破以往優(yōu)化調(diào)度方法將目標(biāo)加權(quán)處理的優(yōu)化思路，實(shí)現(xiàn)Interbay物料運(yùn)輸?shù)膶?shí)時(shí)多目標(biāo)優(yōu)化。
　　在上述研究?jī)?nèi)容基礎(chǔ)上，以上海某晶圓制造企業(yè)實(shí)際生產(chǎn)數(shù)據(jù)為案例背景，設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)了Interbay物料運(yùn)輸調(diào)度原型系統(tǒng)，對(duì)本文提出的模型