貼片機橫梁形變估計的改進算法.pdf

1、在貼片機控制系統(tǒng)中，貼片頭的位置控制精度直接決定了產(chǎn)量和產(chǎn)品合格率。對于這類高精度機械設備，影響其精度的一個重要因素就是結構形變。在很多工程實踐中，有限元分析方法（FEM）被認為是得到機械結構形變的有效途徑，然而，這種方法的弊端是具有很高的計算復雜度，因此不能被應用于設備的在線誤差修正。為了解決這一問題，本文研究并提出了一種具有低計算復雜度、高精度的貼片機X軸橫梁在貼片頭運動過程中的彎曲形變估計模型。第一，本文完成了基于SolidWor

2、ks的貼片機建模和ANSYS軟件的有限元分析仿真，為后續(xù)的數(shù)學模型建立和結構參數(shù)辨識提供了可行性分析和數(shù)據(jù)基礎。第二，本文建立并簡化了靜態(tài)情況下橫梁彎曲形變的力學模型，并根據(jù)有限元結果對橫梁結構參數(shù)進行了辨識，初步實現(xiàn)了具有較高精度、低計算復雜度的橫梁彎曲的在線估計算法。第三，本文給出了考慮貼片頭導軌結構強度的改進預測模型，并借助增廣辨識方法實現(xiàn)了多個參數(shù)的同步辨識。該方法得到了更高精度的橫梁形變信息。最后，本文還提出了一種基于局部曲線