鍺片的高速機械化學研磨工藝研究.pdf

1、以鍺為襯底的太陽能電池相比于硅電池具有更高的光電轉換效率和更低的發(fā)電成本，而且具有更好的耐高溫性能和更好的空間抗輻射能力。在單晶鍺襯底上外延砷化鎵等半導體材料，對鍺襯底的表面質量要求非常高，為此研究單晶鍺片高效低損傷的研磨加工工藝，對于降低生產成本和擴大單晶鍺應用領域有著重要意義。
　　研磨加工是傳統(tǒng)的光學材料加工工藝，但目前對單晶鍺片進行研磨加工工藝研究的很少。為此首先在理論上進行了鍺片與磨盤的相對運動分析，得出了研磨軌跡的形狀

2、及分布特點，指出了影響軌跡分布的因素；建立了固著磨料高速機械化學研磨的力學模型，通過對鍺片在研磨過程中的受力分析，得出了單晶鍺片的臨界載荷和理論表面粗糙度的表達式，最后指出了機械去除材料的模型和材料去除過程中的化學作用，總結得出了固著磨料高速機械化學研磨材料的去除機理。
　　在試驗方面采用正交試驗法設計了單晶鍺片研磨加工試驗，以磨料粒度、研磨壓力、主軸轉速等為影響鍺片表面粗糙度、材料去除率及表面損傷的主要因素，進行了研磨加工試驗，