電子輻照在改善晶體管TS參數(shù)方面的計算機統(tǒng)計分析研究.pdf

1、利用電子束輻照是在改善功率雙極晶體管存儲時間TS方面已逐步取代中子輻照或鈷-60輻照的一種新興技術。在半導體器件制造中使用電子輻照能極大的改善雙極晶體管存儲時間TS的一致性,加快生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本。09年3月深圳深愛半導體有限公司成立“電子輻照取代鈷-60輻照改善存儲時間TS均勻性”的項目組,作者被任命為小組組長,專門統(tǒng)籌負責整個工藝轉(zhuǎn)換工作。在項目開始之前,原來的輻照工藝一直延續(xù)的是建廠時的鈷-60輻照,在長達十幾年的生產(chǎn)過程中,

2、并沒有在輻照方面做任何調(diào)整。08年經(jīng)濟危機對半導體器件制造公司提出了更加嚴苛的要求,而存儲時間TS的控制更是各方廠家爭相拼搶的重點。在經(jīng)歷6個月項目運作后,最終完成了項目確認。整個項目運作過程通過了解輻照加工行業(yè)的背景,研究了在實際生產(chǎn)工程中電子輻照作用于功率雙極晶體管的實際原理,通過結合自身公司產(chǎn)品輻照加工的試驗數(shù)據(jù),制定出適用與具體生產(chǎn)的實際生產(chǎn)流程和工藝參數(shù),找出最佳的適用于生產(chǎn)實際操作的完備工藝流程。并經(jīng)6個月的項目運行,通過后