空心玻璃微球球殼準分子激光刻蝕的研究.pdf

1、調制靶是慣性約束聚變實驗(ICF)中的重要裝置.隨著對Rayleigh-Taylor流體力學不穩(wěn)定性的研究的深入,聚合物平面調制靶已經不能夠滿足實驗需求,而要求以空心玻璃微球為基體制備表面具有一定調制圖形的球面調制靶,用于慣性約束聚變實驗.本文首先簡要介紹了當前國內外在微細加工、調制靶方面的相關技術的現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢,特別是詳細介紹分析了以玻璃等硬脆性材料為加工對象的微細加工技術的現(xiàn)狀,以及球面調制靶的基體——空心玻璃微球(HGM)的制備

2、技術及其性能.簡要介紹了本課題所使用的準分子激光加工機.在對玻璃微球性質的分析和準分子激光機光路傳輸系統(tǒng)解析的基礎上,討論了利用248 nm KrF準分子激光刻蝕玻璃材料的問題.通過試驗摸索出了一種有效的準分子激光刻蝕玻璃材料的工藝方法,成功地在玻璃片上進行了刻蝕試驗;進而,提出了一種準分子激光直接刻蝕玻璃微球的加工方法,成功地在玻璃微球上刻蝕出點陣和圖形.最后,對本文所提出的加工方法的優(yōu)點、不足和需要改進之處進行了討論,并對將來的實驗