MEMS微針制備技術(shù)及其工藝研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、微針作為一種新型MEMS器件，在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用需求。從制備工藝來劃分，微針可分為異平面微針與同平面微針。異平面微針可以加工成陣列結(jié)構(gòu)，因而在微針經(jīng)皮給藥應(yīng)用時(shí)藥物可以在皮膚上大面積分布，具有較強(qiáng)的給藥能力。異平面微針屬于特殊的三維微結(jié)構(gòu)，傳統(tǒng)平面微加工工藝不能滿足其結(jié)構(gòu)要求。本論文從國內(nèi)外的微針制備的研究現(xiàn)狀分析，從現(xiàn)有微針加工過程中存在的不足出發(fā)，在對(duì)背面曝光和傾斜旋轉(zhuǎn)曝光的理論研究的基礎(chǔ)之上，開展相應(yīng)的實(shí)驗(yàn)研究，期望在對(duì)

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