超突變結(jié)變?nèi)荻O管設(shè)計與工藝技術(shù)研究.pdf

1、變?nèi)荻O管是一種結(jié)電容隨外加偏壓非線性變化的二極管，其可實現(xiàn)微波變頻、壓控振蕩等。對于一個給定的電壓變化，超突變結(jié)變?nèi)荻O管比突變結(jié)變?nèi)荻O管提供更大的電容變化，此外在有限電壓范圍內(nèi)，還具有頻率與電壓的線性特征?；诠韫に嚨某蛔兘Y(jié)變?nèi)荻O管在商業(yè)電視調(diào)諧器、軍用電臺調(diào)諧器等中有許多應(yīng)用。
　　 論文介紹了超突變結(jié)變?nèi)荻O管的理論基礎(chǔ)，詳細討論了超突變結(jié)變?nèi)荻O管的幾何結(jié)構(gòu)、濃度分布、工藝參數(shù)、電學參數(shù)等的設(shè)計方法；采用TCAD

2、軟件完成了超突變結(jié)變?nèi)荻O管的結(jié)構(gòu)、電性能、工藝參數(shù)等的設(shè)計；在中國電子科技集團第五十五研究所微波毫米波兩端器件硅工藝線上，分別利用離子注入-擴散法和雙離子注入法完成器件制作，詳細討論了關(guān)鍵工藝的解決辦法，提高了的工藝重復(fù)性和成品率；采用此設(shè)計和工藝方法大大縮短了研制周期、降低了生產(chǎn)成本；最后介紹了器件的測試方法和可靠性試驗。
　　 采用此設(shè)計和工藝方法生產(chǎn)的系列產(chǎn)品可提供各種封裝形式，具備提供多種質(zhì)量等級成品器件的能力，產(chǎn)品質(zhì)