壓電陶瓷管掃描器非線性校正.pdf_第1頁(yè)
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1、壓電陶瓷管掃描器的非線性特征是造成掃描探針顯微鏡掃描圖像畸變的主要原因,因此該課題開(kāi)展壓電陶瓷管掃描器非線性校正的研究工作.該課題從現(xiàn)有實(shí)驗(yàn)設(shè)備出發(fā),提出一種開(kāi)環(huán)校正方案,即利用邁克爾遜干涉儀測(cè)定PZT的伸長(zhǎng)量與控制電壓之間的相互關(guān)系,得到非線性曲線;根據(jù)非線性曲線確定擬合函數(shù);通過(guò)擬合函數(shù)的反函數(shù)得到獲得線性位移的電壓控制數(shù)據(jù);根據(jù)電壓控制數(shù)據(jù)設(shè)計(jì)掃描校正軟件,使XY掃描管工作在線性方式,據(jù)此有效消除由壓電陶瓷管的非線性而引起的掃描圖

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