2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁
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文檔簡介

1、本文圍繞多層介質(zhì)膜光柵掩模的制作展開理論和實驗研究，主要內(nèi)容包括以下幾個方面：首先介紹了研究慣性約束核聚變(ICF)的意義和國際上脈沖壓縮光柵(PCG)的研究進(jìn)展。對光柵電磁場的嚴(yán)格矢量理論作了一定的介紹，選擇嚴(yán)格耦合波(rigorouscoupled-wave，i.e.RCW)理論作為本課題有關(guān)光柵衍射效率數(shù)值計算的理論基礎(chǔ)。全息干涉是目前制作脈沖壓縮光柵(PCG)的唯一有效方法。全息記錄材料也就是掩模的材料是光刻膠，因此本文對光刻膠

2、的特性進(jìn)行了比較深入地研究，重點分析了顯影液溫度和顯影時間這兩個因素對它的影響。并以此為依據(jù)，采用數(shù)據(jù)擬合及實驗摸索的方法，得到了控制光柵掩模槽形比較有效的方法。由于顯影是掩模制作的最后一道工序，而且它能對曝光起到一定的補(bǔ)償作用，對最后的槽形有重要影響，因此在本課題中采用了顯影實時監(jiān)測的辦法，采用測量監(jiān)測光(監(jiān)測光不能使得光刻膠感光)某級衍射效率的辦法來判斷顯影過程中槽形的變化情況。最后論文提出了一種研究多層介質(zhì)膜光柵掩模的無損檢測方法

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