2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁(yè)
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1、委糾犬孚高等學(xué)校教師碩士學(xué)位論文(2008屈)光刻膠光柵掩模槽形的控制研究TheControlStudyofProfilesofPhotoresistGratingMasks研究生姓名墨選壅——指導(dǎo)教師姓名——一墨整塞專業(yè)名稱些芏三壁研究方向些堡皇絲星墊量蘭鲞笪論文提交日期——!鯉!主!!旦TheCon燈olStudyofProfilesofPhotoresistGratingMasksAbstractTheControlStudyof

2、ProfilesofPhotoresistGratingMasksAbstractTheexposureanddevelopmentofgratingmasksprofilemadeofShipleyhavebeendiscussedinthispaperModelsofexposureanddevelopmenthavebeenestablishedtosimulateandanalyzethefinalprofileofthegra

3、tingmasks，whichwerecomparedwithexperimentsresultsThemodelshaveprovedtobecorrectwiththeconsistencybetweenthesimulationandexperimentsMainresearchresultsareasfollows：1CharacteristicsandcurvedataoftheShipleyshavebeenstudieda

4、ndorginatedbystepexperimentsModelingoftheprofilesaccordingtothedatahasbeenestablishedandcomparedwithexperimentsresults，whichhaveprovedtobeconsistent2Inordertoeffectivelycontroltheprofilesofthegratingmasks，interactionrela

5、tionshipsofthecorrespondingprofilesofgratingmasksofvariouscategoriesofShipleysparticularlywidthratiovariationstotheexposurevolume，concentration，temperatureanddevelopmentdurationofthedeveloperhavebeensimulated，analyzedand

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