微結構的靜電驅動特性研究.pdf

1、靜電力作為微機電系統(tǒng)(MEMS)中一種重要的驅動力，廣泛應用于微鏡、微泵、微馬達、微陀螺、微鉗、微諧振器、射頻開關等微器件中。盡管一部分靜電驅動MEMS產(chǎn)品已經(jīng)從實驗室走向商業(yè)化，但相關設計理論和設計工具尚不能滿足設計需求，設計中仍然以反復試驗(trialanderror)方法為主，導致成品率低，可靠性差，嚴重制約了產(chǎn)品的研發(fā)速度和產(chǎn)業(yè)化水平。本文以靜電場、彈性力學、結構動力學、流體力學為理論基礎，以計算機仿真作為輔助工具，將實現(xiàn)器件級

2、或系統(tǒng)級設計與分析作為目標，深入研究靜電驅動典型微結構的靜電力、靜力學和動力學等方面的問題，設計了具有明顯閥值效應的靜電微加速度開關，建立并求解開關的系統(tǒng)仿真模型。本課題對促進靜電驅動微結構理論的深入研究具有重要的學術價值，對提高靜電驅動微器件的工程設計水平具有一定的指導意義。 以平行板電容理論為基礎，基于虛位移原理，導出了典型微結構靜電力(或力矩)的計算模型，討論了邊緣電場對靜電力的影響，分析了不同靜電力模型的精度，確定了無限

3、大平行板電極靜電力公式的適用條件，為結構的靜力學和動力學研究提供理論依據(jù)。 提出了靜電力顯微鏡(EFM)掃描探針針尖與試樣之間的電場假設?；谠摷僭O，建立了計算針尖靜電力的解析模型，計算結果與等效電荷、有限元等數(shù)值方法以及相關的實驗結果相吻合。 分析了因微結構彈性力與靜電力的耦合作用而產(chǎn)生的吸合效應(pull-inorsnap-down)?；谛隙茸冃卫碚摚岢隽艘环N計算靜電致動微梁變形的數(shù)值方法和解析公式，求解了微梁

4、的臨界撓度(pull-indeflection)，分析了用小撓度變形理論計算微結構變形的合理性。 基于小撓度變形理論，建立了靜電驅動軸對稱圓形薄板(包括帶有突臺的薄板)的微分方程，并采用伽遼金加權殘值法進行求解，確定了帶有突臺圓形薄板的臨界撓度為初始間隙的1/3；根據(jù)力矩平衡原理建立了微鏡的控制方程并進行求解，分析了氣膜阻尼對微鏡響應速度的影響。 基于本文建立的計算針尖靜電力解析模型，求解了靜電力掃描探針的變形，分析針尖

5、結構參數(shù)對變形的影響，確定了掃描探針的臨界撓度與初始間距之比為常值1/2。 分別建立了靜電驅動微梁、微鏡、圓形薄板和掃描探針的動力學微分方程，針對具體問題，采用合適的方法求解系統(tǒng)的時間響應，分析了靜電驅動微結構的振動特點。對于含有氣膜阻尼作用的微梁振動，提出了采用有限差分與增量加載相結合的計算方法。 基于靜電和氣膜分析理論，設計了具有顯著閥值效應的靜電微加速度開關。通過梳齒阻尼結構設計，使系統(tǒng)在兩個穩(wěn)態(tài)位置具有較大的阻尼