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文檔簡介
1、本論文是關(guān)于振動傳感器的研究與開發(fā)的論述，激光振動傳感器是利用激光入射到振動的質(zhì)量塊表面，經(jīng)反射，入射光和反射光干涉后形成駐波。在入射點(diǎn)運(yùn)用激光接收器探測激光駐波的光強(qiáng)，通過光強(qiáng)的強(qiáng)弱變化就可以探測出振動情況。研究激光振動傳感器是為了獲得抗電磁干擾、抗腐蝕、耐高溫、體積小、重量輕、靈活方便性能更優(yōu)的新型振動傳感器。研究與比較其他類型的振動傳感器，本傳感器選用標(biāo)準(zhǔn)的CMOS工藝與MEMS工藝相結(jié)合，以激光作為探測工具，以硅工藝中的硅材料作
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