納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)驅(qū)動(dòng)與控制系統(tǒng)設(shè)計(jì).pdf

1、納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)(Nano-CMM)是對(duì)微型機(jī)械器具如MEMS器件,微齒輪等器件的幾何量測(cè)量,不可或缺的工具。驅(qū)動(dòng)與控制系統(tǒng)作為納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)一個(gè)重要的子系統(tǒng),有特別要求,例如納米尺寸的分辨率,低熱效應(yīng),低振動(dòng)以及快速移動(dòng)等等。
　　 納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是一個(gè)復(fù)雜的設(shè)備,包括機(jī)械系統(tǒng),精密的信號(hào)處理系統(tǒng),驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),測(cè)頭系統(tǒng)等。其中驅(qū)動(dòng)與控制系統(tǒng)是一個(gè)綜合性的系統(tǒng),包含機(jī)械平臺(tái),測(cè)頭反饋裝置,驅(qū)動(dòng)設(shè)備等。
　　 本論文介紹

2、了納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)驅(qū)動(dòng)與控制系統(tǒng)的構(gòu)建以及相關(guān)研究。本系統(tǒng)中,基于DVD讀取頭的新型測(cè)頭系統(tǒng),被應(yīng)用于三維測(cè)量以及定位。德國(guó)PI公司生產(chǎn)的N-310型壓電線性電機(jī)作為納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)。運(yùn)動(dòng)平臺(tái)按照特殊的原理設(shè)計(jì),可以最大化的消除阿貝誤差。激光回饋干涉儀是一種新型的位移傳感器,并且是首次用作位置測(cè)量裝置。
　　 本論文提出了新的驅(qū)動(dòng)與控制策略,可以實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)距離納米級(jí)精度的快速精密驅(qū)動(dòng)以及定位。X、Y、Z三個(gè)方向上的行程為5