光柵拼接裝置微位移機構(gòu)的研究.pdf

1、衍射光柵是一種精密的分光元件，是各種光譜儀器的核心器件。目前，天文物理學(xué)以及高能激光脈沖等研究領(lǐng)域所需的光柵已達到了米量級。因此，大口徑光柵的制備十分迫切，大口徑光柵的研制也一直是國際光柵領(lǐng)域的重大課題之一。由于直接制作單塊大面積光柵存在諸多技術(shù)上的困難，而且制作成本昂貴、加工周期長，需要探索采用其他方法來獲得大面積光柵。最常見的是采用多塊光柵進行拼接或者全息拼接技術(shù)獲得。要達到光柵拼接的高精度要求，就要設(shè)計出能夠進行高精度調(diào)整的拼接裝

2、置。本文在國內(nèi)外拼接光柵已取得成果的基礎(chǔ)上，介紹了我校研制的以微位移機構(gòu)為核心的光柵拼接裝置，并對微位移拼接調(diào)整的實現(xiàn)進行了全面的研究。
　　首先，回顧了國內(nèi)外光柵拼接的現(xiàn)狀及采用的調(diào)節(jié)機構(gòu)，介紹了微位移機構(gòu)的發(fā)展及控制現(xiàn)狀，設(shè)計了應(yīng)用于光柵拼接的基于壓電陶瓷驅(qū)動柔性鉸鏈的微位移機構(gòu)；分析了壓電陶瓷微位移驅(qū)動器的性能，進行了閉環(huán)控制系統(tǒng)設(shè)計以降低壓電誤差對運動精度的影響；研究了微驅(qū)動模塊的預(yù)緊和位移特性。
　　其次，在分析并