基于斐索干涉儀的數字波面干涉技術研究.pdf

1、隨著現代各種類型光學儀器對小型光學零件大批量需求，越來越多的產品要求對其加工過程進行現場快速實時監(jiān)控。光干涉計量儀器因為其高的測量精度引起大家的廣泛關注，因此，可以離開實驗室適用于生產現場的小型、現代數字波面干涉儀必將具有廣闊的應用前景。 本文首先對斐索干涉儀用于平面和球面光學零件測量的原理進行闡述，系統分析和研究了現有激光斐索干涉儀的特點，根據項目對系統所能達到測量精度的相關要求和干涉儀器的經濟指標，確定該干涉儀設計方案。其次

2、，鑒于該系統采用高速成像技術較好克服環(huán)境振動對干涉測量的影響因而可用于生產車問現場檢驗，特別利用VC++可視化程序設計語言編寫程序實現對數字圖像實時自動判讀避免人為判讀的主觀性誤差，使其具有廣闊的市場前景。再者，根據項目要求對所需器件進行合理選型。利用該系統對平面光學零件進行測試，較詳細闡述干涉測量的調節(jié)過程，并將拍攝到的干涉條紋轉化為數字信號進行實時處理，包括對圖像灰度轉換、圖像平滑濾波處理、圖像分割以及數學形態(tài)學腐蝕膨脹等操作，最終