六英寸晶圓片倒片系統(tǒng)的設(shè)計、分析與測試.pdf

1、隨著半導體行業(yè)的發(fā)展，晶圓片作為半導體器件的基礎(chǔ)材料，應(yīng)用越來越廣泛。晶圓片倒片系統(tǒng)是晶圓片生產(chǎn)線的專用設(shè)備，用于自動轉(zhuǎn)移晶圓片的工序。國外的晶圓片倒片系統(tǒng)價格比較高，所以設(shè)計一種低成本、高可靠性的工業(yè)用晶圓片倒片系統(tǒng)很有必要。
　　本文主要成功設(shè)計了晶圓片倒片系統(tǒng)的硬件部分，包括機械結(jié)構(gòu)和控制電路。首先進行了系統(tǒng)總體設(shè)計，包括技術(shù)要求的確定、機械結(jié)構(gòu)設(shè)計、電氣控制設(shè)計、機械裝配和電路布線。其中，機械結(jié)構(gòu)設(shè)計包括6英寸晶圓片倒片系

2、統(tǒng)結(jié)構(gòu)方案的確定，概念設(shè)計和樣機設(shè)計；電氣控制設(shè)計包括控制方案的確定、電氣元件的選型和電子電路的設(shè)計，采用了PLC控制步進電機的方式，能夠保證系統(tǒng)的工作可靠性。其次采用計算機輔助分析，對晶圓片倒片系統(tǒng)的執(zhí)行機構(gòu)，包括三個上下運動工位和齒輪傳動系統(tǒng)進行校核、建模和仿真分析，為實際的運動提供理論基礎(chǔ)。根據(jù)實際工作情況，設(shè)計了晶圓片倒片系統(tǒng)的功能模塊，并由此總結(jié)出任務(wù)需求和工作流程圖，為控制軟件的編寫做好準備。最后在初期的試驗與測試中，對它進