A-F氧傳感器用Ti-,3-O-,5-薄膜新材料的制備科學(xué)和性能研究.pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、該文將對(duì)薄膜型A/F(空燃比)氧傳感器用新材料-Ti<,3>O<,5>的性能進(jìn)行研究.采用溶膠-凝膠法在Al<,2>O<,3>基片上制備薄膜:以鈦酸四丁酯為原料,無(wú)水乙醇為溶劑,添加適量的其它物質(zhì)以獲得穩(wěn)定的溶膠,然后通過(guò)提拉法在Al<,2>O<,3>基片上制備TiO<,2>薄膜.論文對(duì)從TiO<,2>薄膜制備Ti<,3>O<,5>薄膜的條件進(jìn)行了詳細(xì)的研究.為了提高薄膜的性能,對(duì)薄膜進(jìn)行了一些摻雜.結(jié)果發(fā)現(xiàn),Ce離子的摻入可以提高Ti

2、<,3>O<,5>薄膜的氧敏感性,響應(yīng)速度和重復(fù)性,而且薄膜在空氣中的穩(wěn)定性也有一定提高(可以在700℃空氣氣氛中穩(wěn)定存在).但是薄膜對(duì)氣氛的活化溫度仍然比較高,約550℃.對(duì)采用Pt在摻Ce的Ti<,3>O<,5>薄膜表面的修飾的研究結(jié)果表明,表面修飾后薄膜的活化溫度降低到了350℃.在溫度高于400℃時(shí),Pt-Ce-Ti<,3>O<,5>薄膜具有良好的靈敏度、響應(yīng)度和重復(fù)性.在400-700℃的溫度范圍內(nèi),薄膜的電阻隨氣氛變化的范圍

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