基于SAW原理的傳感器技術(shù)研究.pdf

1、自從SAW(Surface Acoustic Wave，聲表面波)在1885年被英國(guó)物理學(xué)家瑞利發(fā)現(xiàn)以后，就引起了研究人員的高度重視，此后被廣泛應(yīng)用于通信、雷達(dá)、廣播和電視等領(lǐng)域。SAW傳感器是SAW技術(shù)的一個(gè)重要分支，是從十九世紀(jì)八十年代逐漸發(fā)展起來(lái)的傳感技術(shù)，它具有高精度、高靈敏度、低成本、低功耗、穩(wěn)定和輕巧等特點(diǎn)，并且易于實(shí)現(xiàn)對(duì)多種物理、化學(xué)和生物量的測(cè)量，因此在傳感器的世界中正占有越來(lái)越重要的地位。
　　本文針對(duì)SAW傳感

2、器技術(shù)進(jìn)行了全面的研究，首先對(duì)SAW傳感器技術(shù)的歷史及其在國(guó)內(nèi)外的發(fā)展?fàn)顩r進(jìn)行了歸納總結(jié)，隨后分析了SAW器件的工作原理，在此基礎(chǔ)上進(jìn)一步系統(tǒng)地論述了SAW傳感器的一些基本概念，對(duì)SAW傳感器進(jìn)行了分類(lèi)，對(duì)各類(lèi)SAW基本原理進(jìn)行了分析，比較了各類(lèi)SAW傳感器的主要結(jié)構(gòu)類(lèi)型并進(jìn)行了舉例說(shuō)明，闡述了SAW傳感器在物理和化學(xué)領(lǐng)域中的應(yīng)用。同時(shí)，詳細(xì)介紹了SAW傳感器的制造工藝。
　　在對(duì)SAW傳感器技術(shù)進(jìn)行研究的基礎(chǔ)上，本文設(shè)計(jì)了一個(gè)S