CF-,4-射頻等離子體硅橡膠表面疏水疏油改性研究.pdf

1、中南大學(xué)博士學(xué)位論文CF射頻等離子體硅橡膠表面疏水疏油改性研究姓名：高松華申請學(xué)位級別：博士專業(yè)：凝聚態(tài)物理指導(dǎo)教師：聞立時雷明凱20080901中南人學(xué)博t論文摘要擊、濺射或刻蝕作用大大加強，在試樣表面通過斷鍵作用產(chǎn)生活性基點并形成硅氟結(jié)構(gòu)的作用和對碳氟官能團的剝離作用強于感性耦合CF4等離子體工藝。比較兩種不同耦合方式CF4射頻等離子體改性硅橡膠試樣，射頻容性耦合等離子體改性硅橡膠試樣表面雙疏性能明顯優(yōu)于射頻感性耦合工藝：在容性耦合

2、CF4等離子體200W直接處理5min的工藝條件下，得到最佳表面疏水疏油性能，對應(yīng)靜態(tài)接觸角測量值從原始未改性試樣的10070、6160分別提高到15020、12360?？傊m然兩種不同耦合方式CF4射頻等離子體處理工藝有所區(qū)別，但都是通過增加表面含氟非極性官能團含量和表面粗糙度兩個因素，降低硅橡膠表面能，提高試樣表面與水和油的靜態(tài)接觸角的大小(即表面雙疏性能)。射頻容性耦合CF4等離子體對硅橡膠雙疏改性效果優(yōu)于射頻感性耦合工藝，主要