微細結構中永磁材料電鑄技術研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著微機電系統(tǒng)技術的發(fā)展對微型制件需求的不斷增長，以傳統(tǒng)的微細加工方法成形微小制件難以滿足微系統(tǒng)的應用要求，而用微電鑄工藝成形的微小制件，具有生產效率高，制件質量穩(wěn)定等優(yōu)點，成為微成形加工領域的重要工藝發(fā)展方向。微電鑄，又稱精密電鑄，是一種結合了傳統(tǒng)電鑄工藝和集成電路制作技術的全新的微細加工技術。 本文綜述了微電鑄技術的產生、發(fā)展、應用情況和國內外研究現(xiàn)狀，參照已有電鑄工藝提出了一套硅基電鑄鎳鐵合金的微電鑄工藝流程。 研

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